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변형된 ＬＩＧＡ 공정을 이용한 미세 Ｕ형 골 구조물제조방법

  • 기술번호 : KST2015186682
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 U형 골 구조물의 제조방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 방사광 X-선을 이용하여 2번의 X-선 경사노광과 현상공정으로 기본적인 골 구조물을 만든 후, 한번의 X-선 노광을 더 한 뒤, 열처리를 하여 미세 U형 골 구조물 성형틀을 만들고, 상기 미세 U형 골 구조물 성형틀위에 성형물을 굳혀서 미세 U형 골 구조물을 제조하는 방법에 관한 것이다.본 발명의 미세 U형 골 구조물 제조방법은 (가) 실리콘기판(10)위에 PMMA판(40)를 접합하여 PMMA판(40)를 접합한 기판을 만드는 단계와, (나) X-선 노광시 상기 PMMA판(40)를 접합한 기판위에 밀착시킬 X-선 마스크를 만드는 단계와, (다) 상기 X-선 마스크를 상기 PMMA판(40)이 접합된 기판위에 밀착시키고 2번의 X-선 경사노광과 현상공정을 함으로써 PMMA 구조물을 만드는 단계와, (라) 상기 PMMA 구조물의 윗부분을 X-선 수직노광한 후 열처리를 함으로서, 미세 U형 골구조물 성형틀을 만드는 단계 및 (마) 상기 미세 U형 골구조물 성형틀에 성형물을 부은 후, 굳혀서 미세 U형 골 구조물을 만드는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B81B 7/00 (2006.01)
CPC B81C 1/00031(2013.01) B81C 1/00031(2013.01) B81C 1/00031(2013.01) B81C 1/00031(2013.01) B81C 1/00031(2013.01)
출원번호/일자 1020010065360 (2001.10.23)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0438889-0000 (2004.06.24)
공개번호/일자 10-2003-0034425 (2003.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20040702) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.10.23)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 경상북도포항시남구
2 한만희 대한민국 경상북도포항시남구
3 이성근 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2001-0271753-66
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2003-0024149-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0352002-45
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.11.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2003-0414096-12
6 의견서
Written Opinion		 2003.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2003-0414095-66
7 등록결정서
Decision to grant		 2004.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0193356-96
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
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변형된 LIGA 공정을 이용한 미세 U형 골구조물 제조방법에 있어서,

(가) 실리콘기판(10)위에 PMMA판(Polymethylmethacrylate sheet)(40)을 접합하여 PMMA(PolymethylMethacrylate)판을 접합한 기판을 만드는 단계;

(나) X-선 노광시 상기 PMMA(Polymethylmethacrylate)판(40)을 접합한 기판위에 밀착시킬 X-선 마스크를 만드는 단계;

(다) 상기 X-선 마스크를 상기 PMMA판(40)이 접합된 기판위에 밀착시키고 2번의 X-선 경사노광과 현상 공정을 함으로서 PMMA 구조물을 만드는 단계;

(라) 상기 PMMA 구조물의 윗부분을 X-선 수직노광한 후 열처리를 함으로써, 미세 U형 골구조물 성형틀을 만드는 단계; 및

(마) 상기 미세 U형 골구조물 성형틀에 성형물을 부은 후, 성형하여 미세 U형 골 구조물을 만드는 단계를 포함하고, 상기 (마)단계의 성형물은 유연한 중합체를 포함하고, 상기 (다)단계의 PMMA 구조물은 삼각형태 또는 사다리꼴 형태인 것을 특징으로 하는 미세 U형 골구조물 제조방법

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