요약 | 본 발명은 금속 착체 및 이를 이용한 금속 나노점의 제조방법에 관한 것으로서, 기화특성이 우수한 하기 화학식 1의 구조를 갖는 금속 착체의 증기를 기판에 접촉시키는 본 발명의 방법에 의하면, 목적하는 크기 및 밀도의 금속 나노점을 용이하게 증착시킬 수 있다.(L2)n-M-L1-M-(L3)n상기 식에서,L1은 [CH2=CH-Si(CH3)2]2-O 또는 [CH2=CH-R-Si(CH3)2]2-O이고(이때, R은 C1-8의 알케닐기이다);M은 Cu, Ni, Fe, Co, Ir, Ru 등의 금속이고;L2 및 L3은 각각 독립적으로, β-디케토네이트, 알콕시드, 아민계 화합물 등의, M과 결합할 수 있는 리간드이고;n은 1 내지 5의 정수로서, 상기 M의 결합수에 따라 달라진다. |
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Int. CL | C23C 16/18 (2006.01) |
CPC | C23C 16/18(2013.01) C23C 16/18(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020020016724 (2002.03.27) |
출원인 | 학교법인 포항공과대학교 |
등록번호/일자 | 10-0439581-0000 (2004.06.29) |
공개번호/일자 | 10-2003-0077811 (2003.10.04) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20040712) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2002.03.27) |
심사청구항수 | 5 |