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나노선과 이를 이용한 나노소자

  • 기술번호 : KST2015186708
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요약 본 발명은 나노선과 이를 이용한 나노소자에 관한 것으로서, 특히 나노선 위에 p 타입과 n 타입의 동종접합, 혹은 이종 접합 구조나 양자우물 구조를 가지는 나노선 및 이를 이용한 나노소자에 관한 것이다. 여기서, 본 발명의 나노소자에는 나노 어레이(array) 및 나노 어레이를 통해 만들어진 고집적 회로가 포함된다.본 발명에 따른 나노선은 단일 나노선 안에 정공을 형성시키는 p-타입 영역과 전자를 생성시키는 n-타입 영역을 가짐으로써 나노선 하나 하나가 전계트랜지트터가 되며, 나노선 안에 이종접합구조로 이루어진 매우 얇은 층들을 겹겹이 쌓여진 양자우물구조 또는 초격자구조를 삽입하면 각각의 나노선이 레이저 다이오드나 공명터널링다이오드(resonant tunneling diode, RTD) 등의 나노소자가 된다. 또한 이러한 나노소자들의 어레이를 이용해 고집적회로를 제작할 수 있다.
Int. CL H01L 29/66 (2011.01) B82Y 10/00 (2011.01)
CPC H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01)
출원번호/일자 1020020011175 (2002.03.02)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0462468-0000 (2004.12.09)
공개번호/일자 10-2003-0071915 (2003.09.13) 문서열기
공고번호/일자 (20041217) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.03.02)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규철 대한민국 경상북도포항시남구
2 박원일 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2002-0062661-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2003.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2003.11.20 수리 (Accepted) 9-1-2003-0058894-21
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0115263-31
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0221406-36
6 의견서
Written Opinion
2004.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2004-0221405-91
7 등록결정서
Decision to grant
2004.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0492947-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

증착법을 통해 동종접합 구조, 이종접합 구조, 양자우물 구조 또는 초격자 구조중에서 적어도 어느 한 구조를 가지는 나노선으로서,

상기 동종접합 구조의 나노선은, p 타입 도펀트를 함유하는 전구체를 반응기로 주입하여 p 타입 도핑을 하고 난 후에, n 타입 도펀트를 함유하는 전구체를 반응기로 주입하여 n 타입 도핑을 한 구조로 되고,

상기 이종접합 구조의 나노선 및 양자우물 구조 또는 초격자 구조의 나노선은, p 타입 도펀트를 첨가해서 p 타입 영역을 만들고 난 후, 밴드구조 혹은 밴드갭이 서로 다를 물질들에 해당하는 반응 전구제를 반응기로 교대로 주입하여 양자우물구조 또는 초격자 구조를 가지는 영역을 만들고, 그 다음 n 타입 도펀트를 첨가해서 n 타입 영역을 형성한 구조로 된 것을 특징으로 하는 나노선

2 2

증착법을 통해 동종접합 구조, 이종접합 구조, 양자우물 구조 또는 초격자 구조중에서 적어도 어느 한 구조를 가지는 나노선을 포함하는 나노소자로서,

상기 나노소자에 포함된 상기 동종접합 구조의 나노선은, p 타입 도펀트를 함유하는 전구체를 반응기로 주입하여 p 타입 도핑을 하고 난 후에, n 타입 도펀트를 함유하는 전구체를 반응기로 주입하여 n 타입 도핑을 한 구조로 되고,

상기 나노소자에 포함된 상기 이종접합 구조의 나노선 및 양자우물 구조 또는 초격자 구조의 나노선은, p 타입 도펀트를 첨가해서 p 타입 영역을 만들고 난 후, 밴드구조 혹은 밴드갭이 서로 다를 물질들에 해당하는 반응 전구제를 반응기로 교대로 주입하여 양자우물구조 또는 초격자 구조를 가지는 영역을 만들고, 그 다음 n 타입 도펀트를 첨가해서 n 타입 영역을 형성한 구조로 된 것을 특징으로 하는 나노소자

3 3

제2항에 있어서, 상기 나노소자는 p 타입과 n 타입의 동종접합 구조를 갖는 나노선을 이용한 전계트랜지스터(FET) 또는 발광다이오드(LED)인 것을 특징으로 하는 나노소자

4 4

제2항에 있어서, 상기 나노소자는 초격자 또는 양자우물 구조를 갖는 나노선을 이용한 레이저다이오드(laser diode)와 발광소자, 공명터널링다이오드(resonant tunneling diode; RTD) 및 공명터널링트랜지스터(resonant tunneling transister; RTT)중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노소자

5 5

제2항에 있어서, 상기 나노소자는 수평으로 배열되어 이루어진 나노선 어레이 또는 수직으로 배열되어 이루어진 나노선 어레이인 것을 특징으로 하는 나노소자

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.