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LIGA 공정을 이용하여, 소정의 특정한 구조물이 있는 광학용 초소형 구조물 어레이를 사출성형하기 위한 금형 제조방법에 있어서, X-선 마스크를 이용하여 한번 또는 두번 이상 노광하는 단계; 상기 노광단계에서 노광된 시편을 현상하여 원하는 소정의 초소형 광학용 구조물 어레이 형태의 감광재 PMMA를 제작하는 PMMA 제작단계; 상기 PMMA 제작단계에서 제작된 초소형 광학용 구조물 어레이 형태의 감광재 PMMA에 다른 마스크를 사용하여 원하는 부분에 X-선 2차 노광하는 단계; 상기 2차 노광단계를 실시한 후에 열처리를 실시하여 상기 X-선에 의해 노광된 감광재의 부분만을 비노광된 부분에 대해 선택적으로 표면을 녹여 변형시켜 소정의 모양을 갖는 구조물을 제조하는 단계; 및 상기 제작된 PMMA 형상에 니켈 도금을 한 후 상기 PMMA를 녹여 실리콘 기판을 제거하여 해당하는 구조물 어레이 형태의 니켈 금형을 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 특정한 구조물은 마이크로 렌즈이고, 이 마이크로 렌즈는 상기 광학용 초소형 구조물 안에 내장된 것을 특징으로 하는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항에 있어서, 소정의 X-선 마스크를 이용하여 얼라인 없이 4번의 노광을 통하여 피라미드 형태의 사각뿔의 구조물 어레이를 만들도록 된 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 X-선 1차 노광, 현상 후 상기 사각뿔의 구조물 어레이를 만들 경우 상기 특정한 구조물 형상의 X-선 마스크를 제작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 1차 X-선 경사노광시 X-선 마스크를 이용하여 상기 소정의 구조물을 만들 경우 경사각을 1도에서 90도까지 변경하여 제작할 수 있도록 된 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 2차 X-선 노광시의 상기 특정한 구조물로서 마이크로 렌즈를 만들 경우 X-선 마스크를 상기 마이크로 렌즈의 형상과 같은 형상의 X-선 마스크를 제작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 구조물의 금형틀을 제조해서 상기 금형틀에 사출성형 또는 핫엠보싱 공정을 실시하여 동일한 형태의 구조물을 다수개 제작할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 광학용 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 열처리 공정의 온도 범위가 50℃ ~ 250℃ 인 것을 특징으로 하는 광학용 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 2차 X-선 노광시에 상기 감광재에 축적되는 에너지량을 1kJ/cm3 ~ 20kJ/cm3 의 범위가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 광학용 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 어레이의 형태가 삼각산맥 형태이고, 이 삼각산맥 형태의 어레이에 마이크로 렌즈 구조물이 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 광학용 구조물 어레이 금형의 제조방법
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제12항에 있어서, 첫번째 X-선 노광에서 45도의 경사로 경사노광을 두번 시행하고, 현상하고, 2차 노광을 시행하고 열처리를 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학용 구조물 어레이 금형의 제조방법
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