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이종접합구조의 산화아연계 나노선 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015186723
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요약 본 발명은 산화아연과 이와 유사한 물질의 이종접합구조(heterostructure)의 산화아연계 나노선, 그 제조방법 및 응용에 관한 것이다. 본 발명 방법에 따라 제조되는 이종접합 나노선은 매우 뚜렷한 접합계면을 가질 뿐만 아니라 결함이 적어 전기적 특성과 광학적 특성까지 향상된다. 특히 산화아연 나노선에 다양한 물질을 접합하여 차세대 나노소자 제조가 용이하다. 예를 들어 이종 접합이 가능한 물질로 산화아연에 마그네슘(Mg), 카드늄(Cd) 및 망간(Mn) 등을 첨가하면, 밴드갭을 변화시킬 수 있을 뿐만 아니라 자성 특성을 띄기 때문에 이종접합 나노선을 이용하여 다양한 구조를 가지는 나노스케일의 전자소자 및 광소자를 제작하기가 용이하다.
Int. CL B82B 1/00 (2011.01) B82Y 20/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01) B82Y 10/00 (2011.01)
CPC C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01)
출원번호/일자 1020020006748 (2002.02.06)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0499274-0000 (2005.06.24)
공개번호/일자 10-2003-0066968 (2003.08.14) 문서열기
공고번호/일자 (20050701) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.02.06)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규철 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 박원일 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2002-0038993-97
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.04.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2004-0024277-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0258232-91
5 의견서
Written Opinion
2004.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2004-0373978-05
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2005.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0048367-65
7 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2005.03.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2005-0005983-77
8 등록결정서
Decision to grant
2005.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0215384-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이종접합구조의 산화아연(ZnO) 구성부재를 포함하되,상기 산화아연(ZnO)은;금속 또는 반도체 또는 유전체가 입혀진 산화아연 구성부재를 포함하거나, 또는상기 산화아연(ZnO)에 망간(Mn) 또는 코발트(Co)의 전이금속을 도핑하여 자성 특성을 띄게 한 산화아연망간(Zn1-xMnxO(0≤x≤1)) 또는 산화아연코발트(Zn1-xCoxO(0≤x≤1)) 또는 산화아연(ZnO)에 마그네슘(Mg) 또는 카드늄(Cd)이 첨가되어 밴드갭의 조절이 가능하도록 형성된 이종접합구조의 산화아연마그네슘(Zn1-xMgxO(0≤x≤1)) 또는 산화아연카드늄(Zn1-xCdxO(0≤x≤1)) 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 이종접합구조의 산화아연계 나노선
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 산화아연(ZnO)과, 상기 산화아연과 그 결정구조 및 밴드구조가 유사한 GaN, AlN, InN 및 이들 합금과 같은 질화물 반도체로 구성된 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 이종접합구조의 산화아연계 나노선
5 5
이종접합구조의 산화아연계 나노선을 제조하기 위한 방법에 있어서,산화아연(ZnO)에;마그네슘(Mg) 또는 카드늄(Cd)을 첨가하거나, 또는 망간(Mn) 또는 코발트(Co)의 전이금속을 도핑하여 자성 특성을 띄게 한 산화아연망간(Zn1-xMnxO(0≤x≤1)) 또는 산화아연코발트(Zn1-xCoxO(0≤x≤1)) 물질을 형성하거나, 또는 상기 산화아연과 그 결정구조 및 밴드구조가 유사한 GaN, AlN, InN 및 이들 합금과 같은 질화물 반도체 물질을 첨가하는 단계; 상기 마그네슘(Mg) 또는 카드늄(Cd)의 첨가를 통해 밴드갭의 조절이 가능한 이종접합구조의 산화아연마그네슘(Zn1-xMgxO(0≤x≤1)) 또는 산화아연카드늄(Zn1-xCdxO(0≤x≤1))의 물질을 형성하는 단계;상기 이종접합구조의 산화아연계 물질로 소정의 나노선을 만드는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종접합구조의 산화아연계 나노선 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 나노선을 만들기 위해 금속촉매없이 자기결합모드를 이용하는 유기금속화학기상증착법을 사용하는 것을 특징으로 하는 이종접합구조의 산화아연계 나노선 제조방법
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제5항에 있어서, 아연을 함유한 전구체를 사용하거나, 마그네슘을 함유한 전구체를 사용하거나, 산소-함유 전구체로는 산소(O2) 가스 또는 전구체를 사용하는 것을 특징으로 하는 이종접합구조의 산화아연계 나노선 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 나노선의 원하는 구조의 이종접합구조를 얻기 위해 반응 물질을 포함한 전구체를 함유한 가스, O2의 흐름을 각각 소정의 반응기 및 배기라인으로 적절히 조절해 주면서 공급하는 것을 특징으로 이종접합구조의 산화아연계 나노선 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 반응기 내의 압력 및 온도는 각각 10-5-760mmHg, 0-1000 ℃를 특징으로 하는 이종접합구조의 산화아연계 나노선 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 반응기 내의 압력 및 온도는 각각 10-5-760mmHg, 0-1000 ℃를 특징으로 하는 이종접합구조의 산화아연계 나노선 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.