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미세 입자를 제조하는 방법에 있어서, 상기 미세 입자를 생성하기 위한 원료로서의 고체 분말을 가압, 가열하여 고형화된 고체 분말 덩어리 시편을 만드는 단계; 및 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편에 레이저 펄스를 조사하여 어블레이션(ablation) 시켜 상기의 미세 입자를 생성하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편은 소정의 형틀 내에서 만들어지도록 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편에 상기 레이저 펄스를 조사하기 위한 소정의 챔버 내부는 진공 상태가 유지되도록 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편에 상기 레이저 펄스를 조사하기 위한 소정의 챔버 내부는 불활성 가스 분위기로 유지되게 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편을 소정의 액체 속에 넣고, 상기 액체 속에 있는 상기 시편에 레이저 펄스를 조사하여 어블레이션시켜 미세 입자를 포함하는 액체를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 미세 입자를 포함하는 액체를 증발시키거나 원심분리하여 상기 액체 속에 포함된 미세 입자를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조방법
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제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 시편에 조사되는 레이저 펄스는 소정의 렌즈를 경유하도록 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조방법
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미세 입자를 제조하는 장치에 있어서, 상기 미세 입자를 생성하기 위한 원료로서의 고체 분말을 가압, 가열하여 고형화된 고체 분말 덩어리 시편을 만들기 위한 가압 가열수단; 및 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편에 레이저 펄스를 조사하여 어블레이션시켜 상기의 미세 입자를 생성하기 위한 수단을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조장치
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제8항에 있어서, 상기 가압 가열수단은 상기 고체 분말을 그 내부에서 가압 가열하여 소정 형태의 고형화된 고체 분말 덩어리 시편으로 하기 위한 형틀을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조장치
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10
제8항에 있어서, 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편에 상기 레이저 펄스를 조사하기 위한 소정의 챔버와, 이 챔버 내부에 불활성 가스를 주입하기 위한 수단을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조장치
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제8항에 있어서, 상기 시편과 상기 레이저 펄스를 발생하는 수단 사이에 개재되어 상기 시편에 조사되는 상기 레이저 펄스의 에너지를 크게 하기 위한 렌즈를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조장치
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