| 1 |
1
티타늄 전구체로서의 티타늄-함유 유기금속 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 별개의 라인을 통해 반응기에 주입시키면서 5 내지 10 mmHg의 압력 및 350 내지 450℃의 온도에서 생체 임플란트(implant) 소재 기재(substrate)와 접촉시켜 기재 위에 산화티타늄 막을 형성하는 것을 포함하는, 유기금속 화학기상증착법에 의한 산화티타늄 박막-코팅된 생체 임플란트 소재의 제조방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 생체 임플란트 소재가 티타늄 또는 티타늄 함유 금속임을 특징으로 하는 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 생체 임플란트 소재가 인공치아임을 특징으로 하는 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 티타늄-함유 유기금속이 테트라키스 디에틸아미도 티타늄, 테트라키스 디메틸아미도 티타늄, 티타늄 t-부톡사이드, 티타늄(IV) 에톡사이드 및 티타늄 이소프로폭사이드로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 산소-함유 기체가 O2, O3, NO2, 수증기 또는 CO2인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서, 산소-함유 유기물이 메틸에틸케톤(C2H5COCH3) 또는 테트라하이드로퓨란인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서, 코팅된 산화티타늄 박막의 두께가 10 nm 내지 100 ㎛ 범위임을 특징으로 하는 방법
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서, 코팅된 산화티타늄 박막이 1 이상의 산소/티타늄의 비율을 가짐을 특징으로 하는 방법
|
| 9 |
9
제 1 항 내지 제 8 항 중의 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제조된, 산화티타늄 박막이 코팅된 생체 임플란트 소재
|
| 10 |
9
제 1 항 내지 제 8 항 중의 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제조된, 산화티타늄 박막이 코팅된 생체 임플란트 소재
|
