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MEMS공정을 이용한 고효율 보일링 표면 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015186766
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유리기판 상에 MEMS 공정기술을 이용하여 고효율의 보일링 표면 및 그 제작방법을 개시한 것으로, 유리기판 위에 제 1 금속 박막을 소정 두께로 증착하는 공정과, 증착된 제 1 금속 박막을 포토-리소그라피 공정을 통해 열선과 패드를 형성하는 공정과, 열선 위에 제 1 음성 감광재를 소정 두께로 도포하고 노광하여 제 1 캐비티 구조물을 형성하는 공정과, 제 1 캐비티 구조물 위에 제 2 금속 박막을 소정 두께로 증착하는 공정과, 제 2 금속 박막 위에 제 2 음성 감광재를 소정 두께로 도포하고 패터닝하여 제 2 캐비티 구조물을 형성하는 공정과, 드러난 제 2 금속 박막을 식각하는 공정과, 제 2 금속 박막의 식각을 통해 드러난 부분을 통해 제 1 음성 감광재를 현상하여 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0045(2013.01)
출원번호/일자 1020020080671 (2002.12.17)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0513966-0000 (2005.09.02)
공개번호/일자 10-2004-0053569 (2004.06.24) 문서열기
공고번호/일자 (20050913) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.12.17)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 경상북도포항시남구
2 홍종간 대한민국 경상남도진주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2002-0418320-04
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2004-0072994-52
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.01.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0008314-29
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.03.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0118690-26
6 의견서
Written Opinion
2005.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2005-0118691-72
7 등록결정서
Decision to grant
2005.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0272248-84
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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유리기판 위에 제 1 금속 박막을 소정 두께로 증착하는 공정과, 증착된 제 1 금속 박막을 포토-리소그라피 공정을 통해 열선과 패드를 형성하는 공정과, 열선 위에 제 1 음성 감광재를 소정 두께로 도포하고 노광하여 제 1 캐비티 구조물을 형성하는 공정과, 제 1 캐비티 구조물 위에 제 2 금속 박막을 소정 두께로 증착하는 공정과, 제 2 금속 박막 위에 제 2 음성 감광재를 소정 두께로 도포하고 패터닝하여 제 2 캐비티 구조물을 형성하는 공정과, 드러난 제 2 금속 박막을 식각하는 공정과, 제 2 금속 박막의 식각을 통해 드러난 부분을 통해 제 1 음성 감광재를 현상하여 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 공정을 이용한 고효율 보일링 표면 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 음성 감광재를 다층으로 형성시키는 것을 특징으로 하는 MEMS 공정을 이용한 고효율 보일링 표면 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 금속 박막은 열선의 역할을 하며 제 2 금속 박막은 빛을 가리는 마스크 역할을 하는 것을 특징으로 하는 MEMS 공정을 이용한 고효율 보일링 표면 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 음성 감광재는 보일링이 일어나는 표면에 기체가 가두어질 수 있는 오목한 형태의 캐비티가 형성되는 것을 특징으로 하는 MEMS 공정을 이용한 고효율 보일링 표면 제조방법
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