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산화아연계 나노바늘, 이의 제법 및 이를 이용한 전기 소자

  • 기술번호 : KST2015186799
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요약 본 발명은 산화아연(ZnO)계 나노바늘, 이의 제법 및 이를 이용한 전계방출 소자(Field Emission Display, FED)에 관한 것으로서, 본 발명에 따라 유기금속 화학증착법(Metal Organic Chemical Deposition, MOCVD)에 의해 제조된 산화아연계 나노바늘은 한쪽 끝의 곡률반경이 수 나노미터 이하로 매우 예리하기 때문에 전계방출 특성이 우수하여 전계방출 에미터(emitter)로 사용될 수 있으며, 또한, 촉매를 사용하지 않는 유기금속 화학증착법에 의해 성장되므로 결함이 적고, 결정성이 매우 우수할 뿐만 아니라, 면적이 큰 기판 상에서도 길이, 두께 및 밀도분포가 균일하게 수직 방향으로 잘 배향되기 때문에 차세대 평판 디스플레이인 전계방출 소자 등에 유리하게 이용될 수 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01J 9/02 (2011.01) H01J 1/304 (2011.01)
CPC H01J 1/3042(2013.01) H01J 1/3042(2013.01)
출원번호/일자 1020030033603 (2003.05.27)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0536483-0000 (2005.12.07)
공개번호/일자 10-2004-0102259 (2004.12.04) 문서열기
공고번호/일자 (20051214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.05.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규철 대한민국 경상북도포항시남구
2 박원일 대한민국 경상북도포항시남구
3 유진경 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2003-0188056-05
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2003.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2003-0191840-55
3 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)
2003.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2003-5104226-52
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.02.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0007919-70
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0135830-12
7 의견서
Written Opinion
2005.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2005-0280020-78
8 등록결정서
Decision to grant
2005.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0450784-65
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
길이가 100 nm 내지 5 ㎛이고, 한쪽 끝의 곡률반경이 1 내지 5 nm인 산화아연계 나노바늘
2 2
제 1 항에 있어서, 산화아연이 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 마그네슘(Mg) 또는 카드뮴(Cd) 금속을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연계 나노바늘
3 3
제 1 항에 있어서, 질화물 반도체 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연계 나노바늘
4 4
제 3 항에 있어서, 양자우물 또는 초격자 구조를 가짐을 특징으로 하는 산화아연계 나노바늘
5 5
아연-함유 유기금속 및 산소-함유 기체 또는 산소-함유 유기물을 별개의 라인을 통해 각각 반응기에 주입하고, 10-5 내지 760 mmHg의 압력 및 온도 400 내지 900℃의 반응 조건 하에서 상기 반응물들을 화학반응시키는 것을 포함하는, 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 따른 산화아연계 나노바늘의 제조방법
6 6
제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 따른 산화아연계 나노바늘을 이용하여 제조된 전기 및 전자 소자
7 6
제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 따른 산화아연계 나노바늘을 이용하여 제조된 전기 및 전자 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.