요약 | 본 발명은 산화아연(ZnO)계 나노바늘, 이의 제법 및 이를 이용한 전계방출 소자(Field Emission Display, FED)에 관한 것으로서, 본 발명에 따라 유기금속 화학증착법(Metal Organic Chemical Deposition, MOCVD)에 의해 제조된 산화아연계 나노바늘은 한쪽 끝의 곡률반경이 수 나노미터 이하로 매우 예리하기 때문에 전계방출 특성이 우수하여 전계방출 에미터(emitter)로 사용될 수 있으며, 또한, 촉매를 사용하지 않는 유기금속 화학증착법에 의해 성장되므로 결함이 적고, 결정성이 매우 우수할 뿐만 아니라, 면적이 큰 기판 상에서도 길이, 두께 및 밀도분포가 균일하게 수직 방향으로 잘 배향되기 때문에 차세대 평판 디스플레이인 전계방출 소자 등에 유리하게 이용될 수 있다. |
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Int. CL | B82Y 40/00 (2011.01) H01J 9/02 (2011.01) H01J 1/304 (2011.01) |
CPC | H01J 1/3042(2013.01) H01J 1/3042(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020030033603 (2003.05.27) |
출원인 | 학교법인 포항공과대학교 |
등록번호/일자 | 10-0536483-0000 (2005.12.07) |
공개번호/일자 | 10-2004-0102259 (2004.12.04) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20051214) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2003.05.27) |
심사청구항수 | 6 |