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유리기판의 표면에 크롬/금 층을 증착시키는 단계; 상기 증착된 크롬/금 층을 식각공정에 의해 바늘 어레이 단면의 형상을 형성시키는 단계(2); 상기 기판에 음성 감광제 층(5)를 형성시키는 단계; 상기 음성 감광제 층에 UV 마스크(4)를 통해 UV 광원(3)을 수직 노광하는 단계; 및 상기 기판의 유리기판 쪽으로 UV 광원(6)을 경사시키거나 경사판(7)을 이용하여 경사노광하는 단계를 포함하는 미세 바늘 어레이 음각 금형(24)을 제조하는 방법
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유리기판(8)의 표면에 음성 감광제 층(9)을 형성시키는 단계; 상기 유리기판의 음성 감광제 층에 UV 마스크(10)를 통해 UV 광원(11)을 수직 노광하는 단계; 및 상기 기판의 유리기판 쪽으로 마스크(12)를 통해 UV 광원(13)을 노광시키되, 마스크를 이동시키면서 노광시키는 단계를 포함하는 미세 바늘 어레이 음각 금형(24)을 제조하는 방법
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유리기판(18)의 표면에 음성 감광제 층(19)을 형성시키는 단계; 상기 음성 감광제 층에 UV 마스크(20)를 통해 UV 광원(21)을 수직 노광하는 단계; 및 상기 유리기판 쪽으로 그레이마스크(gray mask)(22)를 통해 UV 광원(23)을 노광하는 단계를 포함하는 미세 바늘 어레이 음각 금형(24)을 제조하는 방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 음성 감광제는 UV 복원성(감광성) 폴리머인 것을 특징으로 하는 방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 음성 감광제는 SU-8인 것을 특징으로 하는 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 UV 광원은 4000 내지 8000mJ/cm2의 세기 및 365~400㎚의 파장인 것을 특징으로 하는 방법
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7
제 1 항 내지 3 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된 미세 바늘 어레이 음각 금형(24)에 금형 제조용 물질을 부어 미세 바늘 어레이 양각 금형(25)를 제조하는 단계; 미세 바늘 어레이 양각 금형(25)을 이용하여 금형 제조용 물질(26)로 최종 미세 바늘 어레이 음각 금형(27)을 제조하는 단계; 상기 최종 미세 바늘 음각 금형(27)에 감광성 폴리머(28)를 투입하여 금형을 채우는 단계; 및 상기 감광성 폴리머에 UV를 조사하여 원하는 형태의 구멍을 형성하고, 현상액과 식각액을 이용하여 미세바늘 어레이의 구멍 형상(29)을 형상식각(patterning)하는 단계를 포함하는 폴리머 미세바늘 어레이(30)를 제조하는 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 금형 제조용 물질은 PDMS, PMMA, PC, 또는 니켈인 것을 특징으로 하는 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 감광성 폴리머는 SU-8 또는 PMMA인 것을 특징으로 하는 방법
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제 7 항의 최종 미세 바늘 어레이 음각 금형(27)을 이용하여 UV 엠보싱 또는 인젝션 몰딩 기법으로 폴리머 미세바늘 어레이를 제조하는 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 폴리머는 PC, PMMA, 아크릴, 또는 SU-8인 것을 특징으로 하는 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 폴리머는 PC, PMMA, 아크릴, 또는 SU-8인 것을 특징으로 하는 방법
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