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실리콘 카바이드 나노선의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015186904
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 니켈 나이트라이트 헥사하이드라이트를 알코올에 녹인 촉매 용액을 실리콘 기판 상에 도포시킨 후, 촉매가 도포된 실리콘 기판과 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소파우더의 혼합물을 동시에 사파이어 보트에 담아 불활성 가스를 주입시키면서 가열 및 실온에서 냉각시켜 고순도 고밀도의 탄소가 코팅된 실리콘 카바이드 나노선을 제조하기 위한 것으로, 이를 위한 본 발명은, 실리콘 기판을 니켈 나이트라이트 헥사하이드라이트((Ni(NO3)2)·6H2O)를 알코올에 용해시킨 촉매 용액에 담지시킨 후 건조시키는 과정으로 실리콘 기판에 촉매 용액을 도포하는 제1과정과, 도포된 실리콘 기판을 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소 파우더의 혼합물과 함께 튜브형 전기화로인 오븐에 담는 제2과정과, 튜브형 전기화로인 오븐에 아르곤 가스를 주입하는 제3과정과, 튜브형 전기화로인 오븐을 기설정된 온도까지 일정 시간 동안 가열 공정을 수행하여 실리콘 기판 상에 목표로 하는 나노선을 형성하는 제4과정을 포함한다. 따라서, 추가적인 장치나 조작이 필요하지 않고 단순한 가열만을 통해서 고순도, 고밀도의 탄소 코팅된 실리콘 카바이드 나노선을 제조할 수 있으며, 이렇게 제조된 탄소 코팅된 실리콘 카바이드 나노선을 전계 방출 물질로서 디스플레이 소자의 분야에 이용할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC C01B 32/963(2013.01) C01B 32/963(2013.01)
출원번호/일자 1020040070373 (2004.09.03)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0661640-0000 (2006.12.19)
공개번호/일자 10-2006-0021580 (2006.03.08) 문서열기
공고번호/일자 (20061227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.09.03)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 용기중 대한민국 경북 포항시 남구
2 박병태 대한민국 대구 수성구
3 류용환 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2004-0400478-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.12.02 수리 (Accepted) 9-1-2005-0078858-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0116590-04
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2006-0289001-00
6 의견서
Written Opinion
2006.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0370156-46
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.05.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0370155-01
8 등록결정서
Decision to grant
2006.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0561348-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
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실리콘 카바이드 나노선의 제조방법으로서,실리콘 기판을 니켈 나이트라이트 헥사하이드라이트((Ni(NO3)2)·6H2O)를 알코올에 용해시킨 촉매 용액에 담지시킨 후 건조시키는 과정으로 상기 실리콘 기판에 촉매 용액을 도포하는 제1과정과,상기 도포된 실리콘 기판을 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소 파우더의 혼합물과 함께 튜브형 전기화로인 오븐에 담는 제2과정과,상기 튜브형 전기화로인 오븐에 아르곤 가스를 주입하는 제3과정과,상기 튜브형 전기화로인 오븐을 기설정된 온도까지 일정 시간 동안 가열 공정을 수행하여 상기 실리콘 기판 상에 목표로 하는 나노선을 형성하는 제4과정을 포함하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 촉매 용액은, 0
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제 4 항에 있어서, 상기 니켈 나이트라이트 헥사하이드라이트((Ni(NO3)2)·6H2O)는, 철염이나 금, 혹은 니켈 중 어느 하나를 증발시켜 얻을 수 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 니켈 나이트라이트 헥사하이드라이트((Ni(NO3)2)·6H2O)는, 1000℃∼1200℃ 영역의 온도에서 촉매로 사용되는 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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실리콘 카바이드 나노선의 제조방법으로서, 실리콘 기판을 촉매 용액에 담지시킨 후 촉매의 균일한 분포를 위해서 70℃의 오븐에서 10분간 건조시키는 과정으로, 상기 실리콘 기판에 촉매 용액을 도포하는 제1과정과,상기 도포된 실리콘 기판을 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소 파우더의 혼합물과 함께 튜브형 전기화로인 오븐에 담는 제2과정과,상기 튜브형 전기화로인 오븐에 아르곤 가스를 주입하는 제3과정과,상기 튜브형 전기화로인 오븐을 기설정된 온도까지 일정 시간 동안 가열 공정을 수행하여 상기 실리콘 기판 상에 목표로 하는 나노선을 형성하는 제4과정을 포함하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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실리콘 카바이드 나노선의 제조방법으로서, 실리콘 기판에 촉매 용액을 도포하는 제1과정과,상기 도포된 실리콘 기판을 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소 파우더을 1:1∼1:6의 몰 비율을 사용하는 혼합물과 함께 오븐에 담는 제2과정과,상기 오븐에 아르곤 가스를 주입하는 제3과정과,상기 오븐을 기세팅된 온도까지 일정 시간 동안 가열 공정을 수행하여 상기 실리콘 기판 상에 목표로 하는 나노선을 형성하는 제4과정을 포함하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 혼합물은, 촉매가 도포된 실리콘 기판과 아르곤 가스가 유입되는 곳 사이에 위치하도록 하는 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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실리콘 카바이드 나노선의 제조방법으로서, 실리콘 기판에 촉매 용액을 도포하는 제1과정과,상기 도포된 실리콘 기판을 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소 파우더의 혼합물과 함께 오븐에 담는 제2과정과,상기 오븐에 나노선 합성을 위한 400∼500 sccm 유량의 아르곤 가스를 주입하는 제3과정과,상기 오븐을 기세팅된 온도까지 일정 시간 동안 가열 공정을 수행하여 상기 실리콘 기판 상에 목표로 하는 나노선을 형성하는 제4과정을 포함하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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실리콘 카바이드 나노선의 제조방법으로서, 실리콘 기판에 촉매 용액을 도포하는 제1과정과,상기 도포된 실리콘 기판을 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소 파우더의 혼합물과 함께 오븐에 담는 제2과정과,상기 오븐에 아르곤 가스를 주입하는 제3과정과,상기 오븐을 기세팅된 1000℃∼1200℃ 온도까지 일정 시간 동안 가열 공정을 수행하여 상기 실리콘 기판 상에 목표로 하는 나노선을 형성하는 제4과정을 포함하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 일정 시간은, 상기 기세팅된 1100℃까지 1시간 동안 가열한 다음 3시간 동안 기세팅된 1100℃를 유지시키는 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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실리콘 카바이드 나노선의 제조방법으로서, 실리콘 기판에 촉매 용액을 도포하는 제1과정과,상기 도포된 실리콘 기판을 탄소의 원료로 사용하는 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소 파우더의 혼합물과 함께 오븐에 담는 제2과정과,상기 오븐에 아르곤 가스를 주입하는 제3과정과,상기 오븐을 기세팅된 온도까지 일정 시간 동안 가열 공정을 수행하여 상기 실리콘 기판 상에 목표로 하는 나노선을 형성하는 제4과정을 포함하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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실리콘 카바이드 나노선의 제조방법으로서, 실리콘 기판에 촉매 용액을 도포하는 제1과정과,상기 도포된 실리콘 기판을 탄소의 원료로 사용하는 텅스텐 옥사이드파우더와 탄소 파우더의 혼합물과 함께 오븐에 담는 제2과정과,상기 오븐에 아르곤 가스를 주입하는 제3과정과,상기 오븐을 기세팅된 온도까지 일정 시간 동안 가열 공정을 수행하여 상기 실리콘 기판 상에 목표로 하는 나노선을 형성하는 제4과정을 포함하는 실리콘 카바이드 나노선의 제조방법
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