| 1 |
1
외팔보의 끝단에 장착된 팁을 분석대상의 표면상에서 이동시키면서 표면의 특성을 검사하는 원자 현미경을 이용하는 방법에 있어서,(a) 평평한 면에서의 수직 항력에 따른 마찰신호(Vo)를 측정하는 단계;(b) 최대 마찰신호(V1)를 측정하는 단계;(c) 하기 식으로부터 평평한 면에서의 비틀림 각도(θ0)를 구하는 단계; 및 , 여기서 a는 평평한 면에서의 마찰신호(Vo)에 대한 최대 마찰신호(V1)의 비(=V1/Vo)를 나타내고, b는 팁의 비틀림 중심 높이(H)에 대한 외팔보의 비틀림 강성(kt)의 비(=kt/H)를 나타내며, Ns는 입력되는 수직항력을 나타낸다
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 최대 마찰신호(V1)은 요철면에서 측정되는 것을 특징으로 하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서,상기 최대 마찰신호(V1)는 요철면 정상(頂上)에서 측정되는 것을 특징으로 하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법
|
| 4 |
4
제 2 항에 있어서,상기 요철면의 단면 형상은 적어도 1 이상의 모서리를 갖는 다각형인 것을 특징으로 하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법
|
| 5 |
5
제 2 항에 있어서,상기 요철면은 곡면인 것을 특징으로 하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 마찰신호와 비틀림 각도는 적어도 2 이상의 서로 다른 수직항력에서 측정되는 것을 특징으로 하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서,상기 복수의 수직항력에 따른 마찰신호의 기울기를 φ라고 하고,상기 복수의 수직항력에 따른 비틀림 각도의 기울기를 λ라고 할 때,상기 각변환 계수(η)는, 를 만족하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 외팔보는 단면이 직사각형이고, 비틀림 강성(kt)은 하기 식으로부터 얻어지는 것을 특징으로 하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 외팔보는 V 형상의 외팔보인 것을 특징으로 하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법
|
| 10 |
10
외팔보의 끝단에 장착된 팁을 분석대상의 표면상에서 이동시키면서 표면의 특성을 검사하는 원자 현미경을 이용하는 방법에 있어서,상기 원자 현미경으로부터 마찰신호를 측정하는 단계;원자 현미경으로부터 측정되는 마찰신호에 대한 외팔보의 비틀림 각도의 비(比)로 정의되는 각변환 계수(η)를 구하는 단계;상기 각변환 계수(η)로부터 힘변환 계수(κ)를 구하는 단계;상기 측정된 마찰신호에 상기 힘변환 계수(κ)를 곱하여 정량화된 마찰력을 구하는 단계를 포함하는 원자현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 11 |
11
제 10 항에 있어서,상기 힘변환 계수(κ)는 하기 식으로부터 얻어지는 것을 특징으로 하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서,상기 외팔보는 단면이 직사각형이고, 비틀림 강성(kt)은 하기 식으로부터 얻어지는 것을 특징으로 하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 13 |
13
제 11 항에 있어서,상기 외팔보는 V 형상의 외팔보인 것을 특징으로 하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 14 |
14
제 10 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 각변환 계수(η)를 구하는 단계는, (a) 평평한 면에서의 수직 항력에 따른 마찰신호(Vo)를 측정하는 단계;(b) 최대 마찰신호(V1)를 측정하는 단계;(c) 하기 식으로부터 평평한 면에서의 비틀림 각도(θ0)를 구하는 단계; 및 , 여기서 a는 평평한 면에서의 마찰신호(Vo)에 대한 최대 마찰신호(V1)의 비(=V1/Vo)를 나타내고, b는 팁의 비틀림 중심 높이(H)에 대한 외팔보의 비틀림 강성(kt)의 비(=kt/H)를 나타내며, Ns는 입력되는 수직항력을 나타낸다
|
| 15 |
15
제 14 항에 있어서,상기 최대 마찰신호(V1)는 요철면에서 측정되는 것을 특징으로 하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 16 |
16
제 14 항에 있어서,상기 최대 마찰신호(V1)는 요철면 정상(頂上)에서 측정되는 것을 특징으로 하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 17 |
17
제 15 항에 있어서,상기 요철면의 단면 형상은 적어도 1 이상의 모서리를 갖는 다각형인 것을 특징으로 하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 18 |
18
제 15 항에 있어서,상기 요철면은 곡면인 것을 특징으로 하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 19 |
19
제 14 항에 있어서,상기 마찰신호와 비틀림 각도는 적어도 2 이상의 서로 다른 수직항력에서 측정되는 것을 특징으로 하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
| 20 |
20
제 19 항에 있어서,상기 복수의 수직항력에 따른 마찰신호의 기울기를 φ라고 하고,상기 복수의 수직항력에 따른 비틀림 각도의 기울기를 λ라고 할 때,상기 각변환 계수(η)는, 를 만족하는 원자 현미경 마찰신호의 정량화 방법
|
