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진공이 유지되는 공간을 한정하는 챔버(61);상기 챔버의 일면에 위치하며, 상기 챔버내에 시료(58)를 고정시키고 필요한 경우에는 상기 시료(58)를 냉각시킬 수 있는 냉각장치로서, 시료(58)을 냉각하기 위한 냉매가 수용되는 본체(51), 상기 본체내로 냉매를 주입하기 위한 냉매 유입구(52), 상기 본체내의 냉매를 외부로 배출시키기 위한 냉매 유출구(54), 및 상기 냉매 유입구(52) 및 냉매 유출구(54)가 부착되어 있는 면의 대향면의 외벽에 시료를 부착시키기 위한 체결기구가 구비되어 있는 시료 장착 금속판(56)을 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치;상기 챔버내의 기체를 외부로 배기하여 상기 챔버내를 진공으로 하기 위한 배관 라인(63, 73);상기 시료에 대향하도록 위치하며, 상기 시료(58)를 식각하기 위한 이온 빔을 방출하는 이온 총(65);상기 시료(58)에 접속되어 상기 시료의 전기적 특성을 측정하기 위한 전기적 특성 측정용 도선(67);전기적 특성 측정용 도선(67)으로부터의 측정 단상의 전류 대비 전압 신호를 검출하기 위한 검출기(79); 및상기 검출된 전류 대비 전압 신호를 처리하여 상기 단상 구조 사이의 투과전류 대 전압의 곡선을 플러팅하여 주는 마이크로 프로세서(81)를 포함하는 이온빔 식각장치
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제1항에 있어서, 상기 이온총(65)에는 식각가스의 유량을 조절하기 위한 유량조절기(77)가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 이온빔 식각 장치
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제1항에 있어서, 상기 이온 빔은 아르곤 빔인 것을 특징으로 하는 이온빔 식각 장치
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제1항에 있어서, 상기 이온 총(65)과 시료 장착 금속판(56) 사이에는 상기 이온빔(75)을 차단할 수 있는 셔터(71)가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 이온빔 식각 장치
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제1항에 있어서, 상기 전기특성 측정용 도선(67)은 구리-망간-니켈 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이온빔 식각 장치
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