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수직형 프로브
- 기술번호 : KST2015186978
- 담당센터 : 대구기술혁신센터
- 전화번호 : 053-550-1450
| 요약 | 본 발명은 수직형 프로브(vertical type probe)에 관한 것이다.본 발명은, 수직방향으로 세워져 상단측이 프로브카드측에 고정되고 그 하단측의 팁이 반도체 칩의 패드와 수직으로 접촉되는 수직형 프로브에 있어서, 양단의 중간부에 일정길이로 수직하중에 대해 수직상태를 유지하면서 먼저 분산 변형을 일으켜 상기 팁으로 하중이 집중되는 것을 방지하도록 다수 방향으로 대칭되는 3차원 구조로 된 하중흡수부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 자체 및 접촉손상을 방지하면서, 반도체 칩의 패드와 전체적으로 안정적인 접촉을 실현하고, 저비용으로 대량생산이 가능하며, 고밀도 배열이 가능한 프로브가 제공되게 되어, 전반적으로 검사비용을 절감시키고 검사효율을 향상시키는 효과가 있다. 프로브, 수직형, 카드, 캔틸레버, 니들, 마이크로, 광조형, 반도체, 칩 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/66 (2006.01) |
| CPC | G01R 1/07314(2013.01) G01R 1/07314(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020040003851 (2004.01.19) |
| 출원인 | 학교법인 포항공과대학교 |
| 등록번호/일자 | 10-0638105-0000 (2006.10.18) |
| 공개번호/일자 | 10-2005-0076058 (2005.07.26) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20061025) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 발송처리완료 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2004.01.19) |
| 심사청구항수 | 6 |