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세포를 염색하고 조사된 빛의 투과량에 따라 세포를 계수하는 세포 계수장치에 있어서, 실리콘 기판 위에 형성되고 상기 계수하고자 하는 세포가 포함된 액체가 이동하는 통로인 모세관; 상기 모세관 일단에 형성되고 상기 모세관에 주입되는 세포가 포함된 액체가 저장되는 주입세포 저장부; 상기 모세관 타단에 형성되고 상기 모세관에서 유출되는 세포가 포함된 액체가 저장되는 유출세포 저장부; 및 상기 실리콘 기판 내에 형성되고 상기 모세관의 소정의 부위 하부에 위치하며 상기 모세관을 이동하는 세포의 염색 정도에 따라 투과되는 빛의 투과량에 따라 변화되는 저항을 측정함으로써 세포의 개수를 감지하는 보론(boron)이 도핑된 세포 감지부를 포함하고, 상기 모세관, 주입세포 저장부, 유출세포 저장부 및 세포 감지부는 마이크로 전자 기계 장치(MEMS, Micro Electro Mechanical System) 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세포 염색은 트리판 블루(trypan blue)로 된 것을 특징으로 하는 세포 계수장치
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제3항에 있어서, 세포의 생사여부에 따른 세포 염색의 차이를 이용하여 살아있는 세포와 죽어있는 세포를 각각 계수하는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 모세관 전기영동(electrophoresis)에 의해 상기 세포가 이동되도록 하기 위하여 상기 모세관 양측에 전극 기능을 하는 연결부를 더 구비하여 상기 세포 계수장치의 외부에 구비된 전원 공급 장치에 연결하도록 하는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치
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제5항에 있어서, 상기 모세관 전기영동은 전기삼투(electro osmosis)인 것을 특징으로 하는 세포 계수장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세포 감지부의 저항을 측정하기 위하여 상기 세포 감지부 양측에 전극 기능을 하는 연결부를 더 구비하여 상기 세포 계수장치의 외부에 구비된 저항 측정 장치에 연결하도록 하는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치
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세포를 염색하고 조사된 빛의 투과량에 따라 세포를 계수하는 세포 계수장치를 제조하는 방법에 있어서, 실리콘 기판의 소정 부위에 보론 도핑 영역을 생성하는 제1 단계; 상기 보론 도핑 영역의 저항을 측정하기 위해 상기 보론 도핑 영역의 양끝에 전극 기능을 하는 금속층을 형성하는 제2 단계; 상기 보론 도핑 영역의 상부에 세포가 포함된 액체가 흐르는 모세관을 형성하기 위한 채널을 형성하는 제3 단계; 및 유리판에 구멍을 뚫고 상기 실리콘 기판 위에 접착시켜 상기 채널의 양끝에 세포가 포함된 액체가 저장되도록 하는 저장부를 형성하고 상기 실리콘에 형성된 채널과 유리판 사이에 모세관을 형성하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 제1 단계 다음에 상기 보론 도핑 영역에 빛이 투과되도록 하고 상기 보론 도핑 영역을 보호하기 위한 산화막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 제3 단계에서 채널을 형성하기 위해 음성감광제(negative photoresist)인 SU-8을 도포하는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 제2 단계의 금속층 형성시에 모세관 전기영동에 의해 상기 세포가 이동되도록 하기 위하여 상기 모세관 양측에 전극 기능을 하는 금속층을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 세포 계수장치 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 모세관 전기영동은 전기삼투인 것을 특징으로 하는 세포 계수장치 제조방법
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