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액상 유기구리 전구체의 열적 안정성 향상방법

  • 기술번호 : KST2015186992
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 액상 유기구리 전구체의 열적 안정성을 향상시키는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 (hfac)Cu(I)L (여기서, hfac는 헥사플루오로아세틸아세토네이트이고, L은 중성 리간드이다)로 나타내어지는 액상 유기구리 전구체에, L과 다른 중성 리간드, L'를 첨가함으로써 그의 열 안정성을 지속적으로 유지시켜 구리 박막 증착시 재현성과 신뢰성을 높이고 박막의 모폴로지나 물성을 크게 향상시킬 수 있다.
Int. CL C07F 1/08 (2006.01)
CPC C07F 1/08(2013.01) C07F 1/08(2013.01)
출원번호/일자 1020000011217 (2000.03.07)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0347838-0000 (2002.07.25)
공개번호/일자 10-2001-0087480 (2001.09.21) 문서열기
공고번호/일자 (20020807) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.03.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도포항시남구
2 최경근 대한민국 경기도수원시팔달구
3 한상호 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2000-0042335-45
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2000.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2000-5069720-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.02.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.03.26 수리 (Accepted) 9-1-2002-0040541-20
5 등록결정서
Decision to grant		 2002.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0151425-06
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0444226-30
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
1 1

하기 식의 액상 유기구리 전구체에, 이 전구체의 중성 리간드보다 비점이 높은 이종의 중성 리간드(L') 물질을 0

2 2

제 1 항에 있어서,

액상 유기구리 전구체가 (헥사플루오로아세틸아세토네이트)Cu(I)(3,3-디메틸-1-부텐)이고, 여기에 첨가되는 이종 중성 리간드 물질이 비점 41 ℃이상의 것임을 특징으로 하는 방법

3 3

제 2 항에 있어서,

이종의 리간드 물질이 비닐사이클로헥산임을 특징으로 하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.