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유기금속 화학증착법에 의한 산화비스무스 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015187009
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기금속 화학증착법에 의한 산화비스무스 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 비스무스-함유 유기금속, 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 별개의 라인을 통해 반응기에 주입시키고, 10-3 내지 760 mmHg의 압력, 200 내지 700℃의 내부온도를 갖는 반응기 조건하에서, 통상의 기재 위에 상기 박막을 성장시키는 것을 포함하며, 본 발명에 따른 유기금속 화학증착법에 의하면, 대량생산이 가능하고 결정성이 우수한 산화비스무스 박막을 제조할 수 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01L 21/02175(2013.01) H01L 21/02175(2013.01) H01L 21/02175(2013.01)
출원번호/일자 1020010027038 (2001.05.17)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2002-0088128 (2002.11.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.05.17)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규철 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 김동혁 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2001-0114789-16
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2001.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2001-0288362-15
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.02.20 수리 (Accepted) 9-1-2003-0004473-14
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0064813-23
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2003.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0235320-93
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
1 1

비스무스-함유 유기금속, 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 별개의 라인을 통해 반응기에 주입시키면서 압력 10-3 내지 760 mmHg 및 온도 200 내지 700℃의 범위에서 기재와 접촉시켜 기재 위에 막을 성장시키는 것을 특징으로 하는, 유기금속 화학증착법에 의한 산화비스무스 박막의 제조방법

2 2

제1항에 있어서,

비스무스-함유 유기금속이 트리메틸 비스무스, 비스사이클로펜타디에닐 비스무스, 비스메틸사이클로펜타디에닐 비스무스, 비스에틸사이클로펜타디에닐 비스무스, 비스펜타메틸사이클로펜타디에닐 비스무스, 비스무스 아세테이트, 비스무스 아세테이트 무수물 및 비스무스 아세틸아세토네이트로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 방법

3 3

제1항에 있어서,

산소-함유 기체가 O2, O3, NO2, 수증기 또는 CO2인 것을 특징으로 하는 방법

4 4

제1항에 있어서,

산소-함유 유기물이 메틸에틸케톤(C2H5COCH3)인 것을 특징으로 하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.