| 1 |
1
측정 대상물을 장착하여 회전시키는 스핀들, 상기 측정 대상물의 회전 방향을 따라 복수로 구비되어 회전하는 측정 대상물의 각측 진원도를 각각 측정하는 복수의 변위 센서, 상기 복수의 변위 센서에 전기적으로 연결되는 변위계, 및 상기 변위계에 전기적으로 연결되어 변위계의 신호로부터 측정 대상물의 전체적인 진원도를 계산 및 검증하는 제어부를 포함하는 진원도 측정 장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 제1, 제2 변위 센서는 180°방향으로 설치되는 진원도 측정 장치
|
| 3 |
3
측정 대상물의 회전 방향을 따라 복수로 구비된 복수의 변위 센서의 감지신호로부터 측정 대상물의 각측 진원도를 각각 측정하는 측정단계, 및 상기 측정단계에서 측정된 각각의 진원도를 이용하여 측정 대상물의 전체 진원도를 계산하는 계산단계를 포함하는 진원도 측정 방법
|
| 4 |
4
청구항 3에 있어서, 상기 측정단계는 측정 대상물을 적어도 180°로 회전시키는 것을 특징으로 하는 진원도 측정 방법
|
| 5 |
5
청구항 3에 있어서, 상기 계산단계는 측정한 각각의 진원도로를 검증하는 검증단계를 더 포함하는 진원도 측정 방법
|
| 6 |
6
청구항 3 또는 청구항 5에 있어서, 상기 검증단계는 측정 대상물을 적어도 540°로 회전시키는 것을 특징으로 하는 진원도 측정 방법
|
| 7 |
6
청구항 3 또는 청구항 5에 있어서, 상기 검증단계는 측정 대상물을 적어도 540°로 회전시키는 것을 특징으로 하는 진원도 측정 방법
|
