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초소형 프리즘 어레이 금형 제조방법

  • 기술번호 : KST2015187046
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 LIGA 공정을 이용한 광학용 초소형 프리즘 어레이의 금형 제작 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 LIGA 공정으로 X-선 마스크에 대한 정렬없이 경사노광하는 방법으로 프리즘 어레이 형태를 만들고, 상기 어레이 형태에 전기도금을 함으로써 표면조도가 우수하고 임의 형태의 가공이 탁월한 프리즘 어레이를 사출성형할 수 있게 하는 초소형 프리즘 어레이 금형 제조방법에 관한 것이다. 한편, 본 발명은 방사광 가속기의 싱크로트론 방사광(Synchrontron Radiation; 이하 '방사광 또는'X-선'이라 칭한다)을 이용하여 소정의 패턴을 갖는 광학용 프리즘 어레이를 제조할 수 있는 초소형 프리즘 어레이 금형의 제조방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 LIGA 공정을 이용하여, 광학용 프리즘 어레이를 사출성형하기 위한 초소형 프리즘 어레이의 금형 제조방법에 있어서, X-선 마스크를 이용하여 경사노광을 몇번 하는 경사 노광단계과; 상기 노광단계에서 노광된 시편을 현상하여 원하는 프리즘 어레이 형태의 PMMA를 제작하는 PMMA 제작단계과; 상기 제작된 PMMA 형상에 니켈 도금을 한 후 상기 PMMA를 녹여 실리콘 기판을 제거하여 해당하는 프리즘 어레이 형태의 니켈 금형을 얻는 단계;를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.
Int. CL B29D 11/00 (2006.01)
CPC B29D 11/0074(2013.01) B29D 11/0074(2013.01) B29D 11/0074(2013.01) B29D 11/0074(2013.01) B29D 11/0074(2013.01)
출원번호/일자 1020010060127 (2001.09.27)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0433624-0000 (2004.05.19)
공개번호/일자 10-2003-0028129 (2003.04.08) 문서열기
공고번호/일자 (20040531) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.09.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 경상북도포항시남구
2 이성근 대한민국 경상북도포항시남구
3 이석우 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2001-0249741-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.04.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.05.19 수리 (Accepted) 9-1-2003-0020510-92
4 등록결정서
Decision to grant		 2004.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0153409-91
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

LIGA 공정을 이용하여, 광학용 프리즘 어레이를 사출성형하기 위한 프리즘 어레이의 금형 제조방법에 있어서,

X-선 마스크를 이용하여 경사노광을 몇번 하는 경사 노광단계;

상기 노광단계에서 노광된 시편을 현상하여 원하는 프리즘 어레이 형태의 PMMA를 제작하는 PMMA 제작단계;

상기 제작된 PMMA 형상에 니켈 도금을 한 후 상기 PMMA를 녹여 실리콘 기판을 제거하여 해당하는 프리즘 어레이 형태의 니켈 금형을 얻는 단계;를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 초소형 프리즘 어레이 금형 제조방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 금형을 이용하여 핫 엠보싱 또는 사출성형으로 광학용 프리즘 어레이를 제작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 프리즘 어레이 금형 제조방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 노광단계에서 마스크와 감광재 시편의 정렬 과정 없이 단 2번의 노광을 실시하는 것을 특징으로 하는 초소형 프리즘 어레이 금형 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.