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유기금속 화학증착법에 의한 피젯티 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015187062
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기금속 화학증착법에 의한 PZT(lead zirconate titanate) 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 하기 화학식 1의 구조를 갖는 Ti 전구체 및 Zr 전구체, 및 Pb 전구체를 포함하는 증기를 300 내지 550℃로 가열된 기판에 접촉시키는 본 발명의 방법에 의하면, 원하는 조성의 PZT 박막을 저온에서 용이하게 제조할 수 있다.상기 식에서, M은 Ti 또는 Zr이고, m은 2 내지 5의 정수이다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01L 21/02197(2013.01) H01L 21/02197(2013.01) H01L 21/02197(2013.01)
출원번호/일자 1020010052452 (2001.08.29)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0399606-0000 (2003.09.17)
공개번호/일자 10-2003-0020491 (2003.03.10) 문서열기
공고번호/일자 (20030929) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.08.29)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도포항시남구
2 김대환 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2001-0219542-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2003-0023576-19
4 등록결정서
Decision to grant		 2003.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0252006-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

하기 화학식 1의 구조를 갖는 Ti 전구체 및 Zr 전구체, 및 Pb 전구체를 포함하는 증기를 300 내지 550℃로 가열된 기판에 접촉시키는 것을 포함하는, 유기금속 화학증착법에 의한 PZT(lead zirconate titanate) 박막의 제조방법:

화학식 1

2

제 1 항에 있어서,

각각의 금속 전구체들을 용매에 녹여 전구체 용액을 제조한 다음, 이 용액을 기화기로 주입하여 150 내지 300℃에서 기화시켜 전구체를 증기화하는 것을 특징으로 하는 방법

3 3

제 1 항에 있어서,

전구체를 용기에 넣고 용기의 온도를 25 내지 150℃로 유지하여 전구체를 증기화하는 것을 특징으로 하는 방법

4 4

제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

Ti, Zr 및 Pb 전구체가 각각 Ti(dmae)4, Zr(dmae)4 (dmae = 디메틸아미노에톡시드) 및 Pb(tmhd)2 (tmhd = 테트라메틸헵탄디오네이트)인 것을 특징으로 하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.