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다면체 구조의 실세시퀴옥산을 포함하는 저유전재료 및이를 이용한 초저유전박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015187067
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 저유전재료 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산 (silsesquioxane)과 산화규소 에어로겔 (aerogel) 을 포함하는 유전 재료를 제공하는 것을 특징으로 하고, 상기 유전재료를 이용하여 저유전박막을 제조하는 방법을 제공하고 있다.
Int. CL H01L 21/31 (2006.01)
CPC H01L 21/76801(2013.01) H01L 21/76801(2013.01) H01L 21/76801(2013.01)
출원번호/일자 1020000053708 (2000.09.09)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0397372-0000 (2003.08.27)
공개번호/일자 10-2002-0020504 (2002.03.15) 문서열기
공고번호/일자 (20030913) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.09.09)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이문호 대한민국 경상북도포항시남구
2 오원태 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 최흥수 대한민국 서울 서초구 서초동****-*벽천빌딩*층(필&온지국제특허법률사무소)
3 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2000-0191853-34
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2000.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2000-5279396-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.03.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0146739-19
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2002-0003523-07
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.06.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0208893-17
7 의견서
Written Opinion		 2002.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2002-5160898-70
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0407866-09
9 의견서
Written Opinion		 2003.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2003-0001885-43
10 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.01.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0001886-99
11 등록결정서
Decision to grant		 2003.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0263115-30
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산과 산화규소 에어로겔을 9

2 2

제 1항에 있어서, 테트라알콕시실란을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유전재료

3 3

제 2항에 있어서, 상기 테트라알콕시실란은 테트라메톡시실란 또는 테트라에톡시실란 인 것을 특징으로 하는 유전재료

4 4

제 1항에 있어서, 유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산과 에어로겔을 졸-겔 반응시켜서 얻은 것을 특징으로 하는 유전재료

5 5

제 2항에 있어서, 유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산, 에어로겔 및 테트라알콕시실란의 혼합물을 졸-겔 반응시켜서 얻은 것을 특징으로 하는 유전재료

6 6

삭제
7 7

a) 유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산과 에어로겔은 9

8 8

제 7항에 있어서, 상기 c) 단계에서 사용한 증류수의 0

9 9

제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 용매는 메탄올, 에탄올, 테트라하이드로퓨란, 디메틸포름아마이드, 메틸에틸케톤 또는 메틸이소부틸케톤인 것을 특징으로 하는 방법

10 10

a) 제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항의 유전재료를 기질에 도포하는 단계,

b) 상온에서부터 60oC사이에서 건조하는 단계, c) 질소 분위기에서 350℃에서 열처리하는 단계, d) 상온에서 서서히 냉각시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로하는 유전박막 제조방법

11 11

삭제
12 12

a) 유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산과 에어로겔을 9

13 13

제 12항에 있어서, 상기 c) 단계에서 사용한 증류수의 0

14 14

제 12항 또는 제 13항에 있어서, 상기 용매가 메탄올, 에탄올, 테트라하이드로퓨란, 디메틸포름아마이드, 메틸에틸케톤 또는 메틸이소부틸케톤인 것을 특징으로 하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.