두개 이상의 삼각 산맥 피크와 그 사이에 적어도 하나 이상의 골짜기가 있으며 상기 삼각 산맥 피크 및 골짜기는 병렬로 배치된 삼각 산맥 구조물의 성형틀 제조방법에 있어서,

기판 상부에 X-선 감광제를 접합하는 단계;

X-선 투과층 상부에 삼각 산맥 구조물의 영역을 정의하기 위하여 X-선을 흡수하는 물질로 마스크 패턴을 형성하는 단계;

상기 X-선 감광제와 상기 마스크 패턴을 밀착시키고 상기 X-선 투과층에 서로 다른 입사 방향의 경사진 각도로 2번 노광을 실시하는 단계;

상기 마스크 패턴 및 X-선 투과층을 분리하고 상기 노광된 X-선 감광제를 현상하여 상기 기판 상부에 삼각 산맥 구조물 패턴을 형성하는 단계;

상기 삼각 산맥 구조물 패턴이 형성된 기판 상부에 금속층을 두껍게 형성하는 단계; 및

상기 삼각 산맥 구조물 패턴 및 기판을 모두 제거하여 상기 금속층으로 이루어진 삼각 산맥 구조물의 성형틀을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 리가 공정을 이용한 삼각 산맥 구조물의 성형틀 제조방법

제 1항에 있어서, 상기 X-선 투과층 상부에 마스크 패턴을 형성하는 단계는,

상기 X-선 투과층 상부에 시드층을 형성하는 단계와, 상기 시드층 상부에 자외선 감광막을 도포하고 노광 및 현상 공정으로 상기 삼각 산맥 구조물의 영역을 정의하는 자외선 감광막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 시드층을 전기도금해서 상기 감광막 패턴 사이를 채워 X-선 마스크 패턴을 형성하는 단계와, 상기 자외선 감광막 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 리가 공정을 이용한 삼각 산맥 구조물의 성형틀 제조방법

두개 이상의 삼각 산맥 피크와 그 사이에 적어도 하나 이상의 골짜기가 있으며 상기 삼각 산맥 피크 및 골짜기는 병렬로 배치된 삼각 산맥 구조물의 제조방법에 있어서,

기판 상부에 X-선 감광제를 접합하고 상기 X-선 감광제와 X-선 마스크를 밀착시키고 서로 다른 입사 방향의 경사진 각도로 2번 노광 공정을 실시하고 상기 X-선 마스크를 분리하고 상기 노광된 X-선 감광제를 현상하여 기판 상부에 삼각 산맥 구조물 패턴을 형성하고 그 위에 금속층을 두껍게 형성한 후에, 기판 및 삼각 산맥 구조물 패턴을 제거하여 삼각 산맥 구조물의 성형틀을 형성하는 단계;

상기 삼각 산맥 구조물의 성형틀에 성형물질을 붓고 이를 성형하는 단계; 및

상기 성형틀에서 굳은 성형물질을 분리하여 상기 삼각 산맥 구조물을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 리가 공정을 이용한 삼각 산맥 구조물의 제조방법

제 3항에 있어서, 상기 성형물질은 연성의 물질인 것을 특징으로 하는 리가 공정을 이용한 삼각 산맥 구조물의 제조방법

두개 이상의 삼각 산맥 피크와 그 사이에 적어도 하나 이상의 골짜기가 있으며 상기 삼각 산맥 피크 및 골짜기는 병렬로 배치된 삼각 산맥 구조물의 제조방법에 있어서,

기판 상부에 X-선 감광제를 접합하고 상기 X-선 감광제와 X-선 마스크를 밀착시키고 서로 다른 입사 방향의 경사진 각도로 2번 노광 공정을 실시하고 상기 X-선 마스크를 분리하고 상기 노광된 X-선 감광제를 현상하여 기판 상부에 삼각 산맥 구조물 패턴을 형성하고 그 위에 금속층을 두껍게 형성한 후에, 기판 및 삼각 산맥 구조물 패턴을 제거하여 삼각 산맥 구조물의 성형틀을 형성하는 단계; 및

상기 성형틀을 금형으로 이용하는 사출 성형, 압출 성형 또는 핫 엠보싱 공정을 실시하여 삼각 산맥 구조물을 제조하는 단계를 포함하는 리가 공정을 이용한 삼각 산맥 구조물 제조방법