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벽면 전위를 갖는 마이크로 채널에 있어서, 상기 마이크로 채널 내부의 상부 벽면에 일정 간격을 두고 배열된 다수개의 제 1벽면 전위패턴들; 상기 마이크로 채널 내부의 하부 벽면에 서로 이웃하는 상기 제 1벽면 전위패턴의 양끝단에 연결되도록 일정 간격을 두고 배열된 다수개의 제 2벽면 전위패턴들로 이루어진 나선형 벽면 전위패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 나선 유동을 발생하는 마이크로 채널
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제 1항에 있어서, 상기 마이크로 채널 내부의 측면 벽면에 상기 제 1벽면 전위패턴과 상기 제 2벽면 전위패턴을 연결하는 다수개의 제 3벽면 전위패턴들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나선 유동을 발생하는 마이크로 채널
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제 1항에 있어서, 상기 제 1벽면 전위패턴 및 상기 제 2벽면 전위패턴은 각각의 내부 벽면에 사선으로 배열된 것을 특징으로 하는 나선 유동을 발생하는 마이크로 채널
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제 1항에 있어서, 상기 제 1벽면 전위패턴은 상기 마이크로 채널의 폭에 대해 수평으로 배치되고 상기 제 2벽면 전위패턴은 상기 마이크로 채널의 폭에 대해 사선으로 배열된 것을 특징으로 하는 나선 유동을 발생하는 마이크로 채널
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제 1항에 있어서, 상기 제 1벽면 전위패턴은 상기 마이크로 채널의 폭에 대해 사선으로 배열되고 상기 제 2벽면 전위패턴은 상기 마이크로 채널의 폭에 대해 수평으로 배치된 것을 특징으로 하는 나선 유동을 발생하는 마이크로 채널
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벽면 전위를 갖는 마이크로 채널의 제조 방법에 있어서, 상기 마이크로 채널용 제 1기판의 상부에 일정 간격을 두고 배열된 다수개의 제 1벽면 전위패턴들을 형성하는 단계; 상기 마이크로 채널용 제 2기판의 상부에 서로 이웃하는 상기 제 1벽면 전위패턴의 양끝단에 연결되도록 일정 간격을 두고 배열된 다수개의 제 2벽면 전위패턴들을 형성하고, 상기 제 2벽면 전위패턴이 형성된 기판 상부에 측벽막을 형성하는 단계; 및 상기 제 1벽면 전위패턴을 갖는 제 1기판과 상기 제 2벽면 전위패턴을 갖는 제 2기판을 접합하여 나선형 벽면 전위패턴을 구비하는 마이크로 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나선 유동을 발생하는 마이크로 채널의 제조 방법
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벽면 전위를 갖는 마이크로 채널의 제조 방법에 있어서, 상기 마이크로 채널용 제 1기판의 상부에 일정 간격을 두고 배열된 다수개의 제 1벽면 전위패턴들을 형성하는 단계; 상기 마이크로 채널용 제 2기판을 소정 깊이로 식각하여 트렌치를 형성하고, 상기 트렌치내에 서로 이웃하는 상기 제 1벽면 전위패턴의 양끝단에 연결되도록 일정 간격을 두고 배열된 다수개의 제 2벽면 전위패턴들을 형성하는 단계; 및 상기 제 1벽면 전위패턴을 갖는 제 1기판과 상기 제 2벽면 전위패턴을 갖는 제 2기판을 접합하여 나선형 벽면 전위패턴을 구비하는 마이크로 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나선 유동을 발생하는 마이크로 채널의 제조 방법
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제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 제 2벽면 전위패턴을 형성하는 단계에서, 상기 측벽막 또는 트렌치의 측벽에 상기 제 1벽면 전위패턴과 상기 제 2벽면 전위패턴을 연결하는 다수개의 제 3벽면 전위패턴들을 함께 형성하는 것을 특징으로 하는 나선 유동을 발생하는 마이크로 채널의 제조 방법
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