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루테늄/루테늄 산화물 박막 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015187114
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Ru/RuO2 박막의 형성 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 Ru(OD)3(OD: 옥탄디오네이트)를 전구체로 사용함으로써 유기금속화학증착법에 의해 기판 상에 우수한 특성을 가진 고순도의 Ru/RuO2 박막을 높은 증착속도로 형성시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01L 21/02175(2013.01) H01L 21/02175(2013.01)
출원번호/일자 1020000024586 (2000.05.09)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0399604-0000 (2003.09.17)
공개번호/일자 10-2001-0103264 (2001.11.23) 문서열기
공고번호/일자 (20030929) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.05.09)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도포항시남구
2 이정현 대한민국 경기도성남시분당구
3 김주영 대한민국 충청북도청주시흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2000-0092268-90
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document
2000.05.10 수리 (Accepted) 1-1-2000-5134266-12
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2002.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0050038-48
4 의견서
Written Opinion
2002.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2002-0117364-75
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2002.04.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0117365-10
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2002.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0384087-64
7 의견서
Written Opinion
2002.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2002-0424814-32
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2002.12.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0424817-79
9 등록결정서
Decision to grant
2003.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0227309-57
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0444261-28
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

Ru(OD)3 (OD: 옥탄디오네이트)를 알콜성 용매에 용해시킨 용액을 순간기화기에서 기화시키고, 생성된 증기를 아르곤 또는 아르곤과 산소의 혼합 가스에 의해 증착 반응기로 이송하여 기판과 접촉시킴을 포함하는, 기판 상에 Ru 또는 RuO2 박막 또는 이들의 혼합박막을 형성시키는 방법

2 2

제 1 항에 있어서,

순간기화기가 220 내지 240 ℃ 범위의 온도로 유지되는 것을 특징으로 하는 방법

3 3

삭제

4 4

제 1 항에 있어서,

아르곤과 산소의 혼합 가스에서 산소의 비율을 30% 미만 범위로 조절하여 Ru 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법

5 5

제 1 항에 있어서,

아르곤과 산소의 혼합 가스에서 산소의 비율을 30 내지 70% 범위로 조절하여 RuO2 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법

6 6

제 1 항에 있어서,

순간 기화기에 다공성 금속 스폰지가 장착되어 있어, 전구체 증기를 다공성 금속 스폰지를 통과시킨 후 증착반응기에 도입시키는 것을 특징으로 하는 방법

7 7

제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,

증착 온도를 250 내지 350 ℃ 범위로 조절하여 Ru 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법

8 8

제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,

증착 온도를 300 내지 450 ℃ 범위로 조절하여 RuO2 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.