마이크로 채널 내부의 옆 벽면과 바닥면에 나선형 유동을 유발할 수 있는 전기장을 형성하는 전극들이 배치되며,

상기 마이크로 채널의 외부 주변에 자기장을 형성하는 자기장 발생수단이 설치되며,

상기 마이크로 채널 벽면에 카오스 혼합을 유도하는 1 또는 다수 개의 배리어가 배열되는 것을 특징으로 하는 배리어가 포함된 전자력 추진 마이크로 믹서

제 1 항에 있어서,

상기 자기장 발생수단으로 영구자석이 사용되며, 직류 전압으로 전류를 유발하는 것을 특징으로 하는 배리어가 포함된 전자력 추진 마이크로 믹서

제 1 항에 있어서,

상기 자기장 발생수단으로 전자석이 사용되며, 교류 전압으로 자기장과 전류를 유발하는 것을 특징으로 하는 배리어가 포함된 전자력 추진 마이크로 믹서

제 1 항에 있어서,

상기 자기장 발생수단이 마이크로 채널의 위 혹은 아래 한 곳, 혹은 위, 아래 모두에 위치하는 것을 특징으로 하는 배리어가 포함된 전자력 추진 마이크로 믹서

제 1 항에 있어서,

상기 배리어는 상기 마이크로 채널 벽면의 위 또는 아래 벽면에 형성되는 것을 특징으로 하는 배리어가 포함된 전자력 추진 마이크로 믹서

제 1 기판 표면에 열증착을 통해 금속을 증착한 후 자외선 사진 공정을 통해 전극을 형성하는 단계와

상기 전극이 형성된 기판 표면에 보호층을 형성하는 단계와;

상기 보호층 위에 나선형 유동을 유발하는 마이크로 채널 벽면을 자외선 사진 공정을 통해 형성하는 단계와;

상기 마이크로 채널 위에 스퍼터링(Sputtering) 공정을 통해 알루미늄 박막을 형성하는 단계와;

상기 알루미늄 박막을 자외선 사진 공정을 통해 종행 유동을 유발하는 채널 옆 벽면의 전극을 형성하는 단계와;

상기 채널 내부의 노출된 보호층을 식각하여 횡단 유동을 유발하는 채널 바닥 전극을 노출시켜 마이크로 채널 하판을 제작하는 단계와;

제 2 기판 위에 감광재를 도포한 후 배리어가 형성될 공간을 자외선 사진 공정 등을 통해 형성하는 단계와;

상기 제 2 기판 위에 PDMS (Polydimethylsiloxane)로 몰딩한 후 경화시켜 마이크로 채널 상판을 제작하는 단계와;

제 6 항에 있어서,

상기 전극은 Cr/Au 금속인 것을 특징으로 하는 베리어가 구비된 마이크로 믹서 제조방법

제 6 항에 있어서,

상기 보호층은 SOG(Spin On Glass) 인 것을 특징으로 하는 베리어가 구비된 마이크로 믹서 제조방법