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유기금속 화학증착법에 의해 형성된 산화아연마그네슘박막 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015187127
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기금속 화학증착법에 의한 산화아연-마그네슘 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 아연-함유 유기금속 및 마그네슘-함유 유기금속, 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 별개의 라인을 통해 반응기에 주입시키고, 10-3 내지 760 mmHg의 압력, 200 내지 800℃의 내부온도를 갖는 반응기 조건하에서, 상기 반응물질들의 유량을 각각 0.1 내지 10 sccm, 5 내지 50 sccm 및 20 내지 100 sccm의 범위로 조절함으로써 마그네슘의 몰분율을 제어함을 통해 기재 위에 상기 박막을 성장시키는 것을 포함하며, 본 발명에 따른 유기금속 화학증착법에 의하면, 대량생산이 가능하고 결정성이 우수한 산화아연-마그네슘 박막을 제조할 수 있다.
Int. CL C23C 16/18 (2006.01)
CPC C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01) C23C 16/45576(2013.01)
출원번호/일자 1020010019300 (2001.04.11)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0392783-0000 (2003.07.14)
공개번호/일자 10-2002-0080109 (2002.10.23) 문서열기
공고번호/일자 (20030723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.04.11)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이규철 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 박원일 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2001-0081737-89
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2001.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2001-0288359-77
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.10.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2002-0028153-36
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0023678-50
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.03.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0095343-45
7 의견서
Written Opinion		 2003.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2003-0095333-99
8 등록결정서
Decision to grant		 2003.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0135303-04
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
1 1

아연-함유 유기금속, 마그네슘-함유 유기금속, 및 산소-함유 기체 또는 유기물을 별개의 라인을 통해 반응기에 주입시키면서 기재 위에 막을 성장시키는 것을 특징으로 하는, 유기금속 화학증착법에 의한 Zn1-xMgxO (0<x<1) 박막의 제조방법

2 2

삭제
3 3

삭제
4 4

제1항에 있어서,

아연-함유 유기금속이 디메틸아연, 디에틸아연, 아연 아세테이트, 아연 아세테이트 무수물 또는 아연 아세틸아세토네이트인 것을 특징으로 하는 방법

5 5

제1항에 있어서,

마그네슘-함유 유기금속이 비스사이클로펜타디에닐마그네슘, 비스메틸시클로펜타디에닐마그네슘, 비스에틸시클로펜타디에닐마그네슘, 비스펜타메틸시클로펜타디에닐마그네슘, 마그네슘 아세테이트, 마그네슘 아세테이트 무수물 및 마그네슘 아세틸아세토네이트로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 방법

6 6

제1항에 있어서,

산소-함유 기체가 O2, O3, NO2, 수증기 또는 CO2인 것을 특징으로 하는 방법

7 7

제1항에 있어서,

산소-함유 유기물이 C4H8O인 것을 특징으로 하는 방법

8 8

제1항 내지 제7항중 어느 한 항의 방법에 의해 제조된 Zn1-xMgxO (0<x<1) 박막

9 9

제8항의 박막을 포함하는 소자

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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.