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반도체 소자용 확산방지막 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015187177
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 알킬-아미도-티타늄 형태의 유기금속 전구체를 사용하여 플라즈마 화학증착법에 의해 질화티탄 박막을 형성하여 반도체 소자용 확산방지막을 제조하는 방법에 있어서, 반응기체로 수소 플라즈마를 도입하는 것을 특징으로 하는 방법에 관한 것으로 박막내 탄소, 산소 등의 불순물 함입을 억제하여 비저항값을 낮게할 수 있다.
Int. CL H01L 21/28 (2006.01)
CPC H01L 21/76841(2013.01) H01L 21/76841(2013.01) H01L 21/76841(2013.01) H01L 21/76841(2013.01)
출원번호/일자 1019970000973 (1997.01.15)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0229439-0000 (1999.08.16)
공개번호/일자 10-1998-0065814 (1998.10.15) 문서열기
공고번호/일자 (19991101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.01.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이 시 우 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 윤 주 영 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 이남경 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.01.15 수리 (Accepted) 1-1-1997-0003029-13
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.01.15 수리 (Accepted) 1-1-1997-0003030-60
3 특허출원서
Patent Application		 1997.01.15 수리 (Accepted) 1-1-1997-0003028-78
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005580-12
5 등록사정서
Decision to grant		 1999.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0161231-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0122834-81
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2000-0012365-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
1 1

알킬-아미도-티타늄 형태의 유기금속 전구체를 사용하여 플라즈마 화학증착법에 의해 질화티탄 박막을 형성하여 반도체 소자용 확산방지막을 제조하는 방법에 있어서, 반응기체로 수소 플라즈마를 도입하는 것을 특징으로 하는 방법

2 2

제 1 항에 있어서, 알킬-아미도-티타늄 형태의 유기금속 전구체가 테트라키스-디메틸-아미도-티타늄(TDMAT) 또는 테트라키스-디에틸-아미도-티타늄(TDEAT)인 것을 특징으로 하는 방법
3 3

제 1 항에 있어서, 상기 질화티탄막의 조성은 x가 0

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1 US06171958 US 미국 FAMILY
2 US06171958 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US6171958 US 미국 DOCDBFAMILY
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