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하기 화학식 1로 표시되는 Pb(methd)2, 하기 화학식 2로 표시되는 Zr(methd)4 및 하기 화학식 3으로 표시되는 Ti(mpd)(methd)2를 포함하는 단일의 혼합 전구체 용액을 기화시킨 후 360 내지 560℃의 온도 범위에서 기재에 증착시키는 것을 포함하는, PZT(lead zirconate titanate) 박막의 제조방법: 화학식 1 화학식 2 화학식 3
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제1항에 있어서, 혼합 전구체 용액중의 금속 전구체 물질의 조성비 [Pb/(Zr+Ti)]가 0
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제2항에 있어서, Zr:Ti의 혼합비율은 3:7 내지 5:5의 범위임을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 혼합 전구체 용액이 각 전구체 물질을 유기용매에 용해시켜 제조된 것임을 특징으로 하는 방법
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제4항에 있어서, 유기용매가 n-헵탄, n-옥탄, 테트라히드로푸란(THF) 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 기재가 Si, Pt, Ir, Ru, IrO2 및 RuO2 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 기화 공정이 200 내지 300℃의 온도 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 기화 공정이 200 내지 300℃의 온도 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
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