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벽면전위를 갖는 마이크로 채널에 있어서, 상기 마이크로 채널 내부의 벽면에 나선 유동을 유발하는 불균일한 벽면전위패턴이 형성되고, 상기 마이크로 채널 내부의 상부 또는 하부 벽면에 상기 채널 길이방향으로 배치된 적어도 1개 이상의 배리어를 구비한 것을 특징으로 하는 나선 유동을 이용한 카오스 혼합용 마이크로 채널
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제 1항에 있어서, 상기 배리어는 상기 마이크로 채널 내부에 상기 채널 길이 방향으로 소정 간격을 두고 주기적, 혹은 비주기적으로 배치된 것을 특징으로 하는 나선 유동을 이용한 카오스 혼합용 마이크로 채널
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제 1항 내지 제 2항에 있어서, 상기 배리어는 상기 마이크로 채널 내부의 상부 또는 하부 벽면에 있는 나선 유동을 유발하는 불균일한 벽면전위패턴 위 혹은 그 아래에 형성되는 것을 특징으로 하는 나선 유동을 이용한 카오스 혼합용 마이크로 채널
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제 1항에 있어서, 상기 배리어의 높이는 상기 마이크로 채널 내부의 높이와 동일하거나 그 높이보다 작은 것을 특징으로 하는 나선 유동을 이용한 카오스 혼합용 마이크로 채널
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제 1항에 있어서, 상기 배리어의 폭은 유동의 파괴가 일어나지 않는 범위에서 상기 마이크로 채널 내부의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 나선 유동을 이용한 카오스 혼합용 마이크로 채널
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나선 유동을 유발하는 불균일한 벽면전위를 갖는 카오스 혼합용 마이크로 채널의 제조 방법에 있어서, 상기 마이크로 채널용 제 1기판의 상부에 나선 유동을 유발하는 불균일한 상부 벽면전위패턴을 형성하는 단계; 상기 마이크로 채널용 제 2기판의 상부에 나선 유동을 유발하는 불균일한 하부 벽면전위패턴을 형성하고, 상기 제 2기판에 측벽막을 형성하는 단계; 상기 제 1 또는 제 2기판에 적어도 1개 이상의 배리어를 형성하는 단계; 및 상기 제 1기판과 상기 제 2기판을 접합하여 상기 나선 유동을 유발하는 불균일한 벽면전위패턴과 배리어를 갖는 마이크로 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나선 유동을 이용한 카오스 혼합용 마이크로 채널의 제조 방법
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나선 유동을 유발하는 불균일한 벽면전위를 갖는 카오스 혼합용 마이크로 채널의 제조 방법에 있어서, 상기 마이크로 채널용 제 1기판의 상부에 나선 유동을 유발하는 불균일한 상부 벽면전위패턴을 형성하는 단계; 상기 마이크로 채널용 제 2기판을 소정 깊이로 식각하여 트렌치를 형성하고, 상기 트렌치내에 나선 유동을 유발하는 불균일한 하부 벽면전위패턴을 형성하는 단계; 상기 제 1 또는 제 2기판에 적어도 1개 이상의 배리어를 형성하는 단계; 및 상기 제 1기판과 상기 제 2기판을 접합하여 상기 나선 유동을 유발하는 불균일한 벽면전위패턴과 배리어를 갖는 마이크로 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나선 유동을 이용한 카오스 혼합용 마이크로 채널의 제조 방법
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