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유체의 진행경로를 제공하는 마이크로 채널의 내부에 설치되는 마이크로 밸브에 있어서, 상기 유체의 진행를 차단하면서 적어도 1 이상의 관통공을 갖는 유체 차단부를 포함하고, 상기 관통공은 상기 유체가 유입되는 유입부, 상기 유체가 유출되는 유출부 및 상기 유입부와 유출부 사이에서 상기 유입부 또는 유출부의 단면적보다 큰 단면적을 가지는 중간부를 구비하며, 상기 유입부로부터 중간부까지 점진적으로 단면적이 증가하는 마이크로 밸브
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제 1 항에서, 상기 관통공은 상기 중간부에서 유출부까지 점진적으로 단면적이 좁아지는 마이크로 밸브
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제 1 항에서, 상기 관통공의 내측면은 소수성을 띠며 형성되는 마이크로 밸브
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제 1 항에서, 상기 관통공의 유입부에서 상기 관통공의 축중심과 상기 관통공의 내측면에 나란한 연장선이 이루는 각도가 30 ~ 80 °의 범위에 속하는 마이크로 밸브
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제 1 항에서, 상기 관통공은 α+ θ ≥ 90°의 조건을 만족하는 마이크로 밸브
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제 1 항에서, 상기 관통공의 중간부에서 상기 관통공의 축중심에 교차하며 형성되는 멤브레인(membrane)을 더욱 포함하는 마이크로 밸브
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제 1 항에서, 상기 관통공의 단면적은 상기 유입부보다 상기 유출부에서 더 좁게 형성되는 마이크로 밸브
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제 1 항에서, 상기 관통공의 단면적은 원형으로 이루어지는 마이크로 밸브
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제 8 항에서, 상기 관통공의 단면적의 직경은 100㎚ ~ 200㎛의 범위에 속하는 마이크로 밸브
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제 8 항에서, 상기 관통공의 단면적의 직경은 100㎚ ~ 200㎛의 범위에 속하는 마이크로 밸브
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