맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치

  • 기술번호 : KST2015187261
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 증착장치에 관한 것으로서, 특히 일정한 두께로 박막이나 다층박막을 균일하게 형성하는 펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 증착 장치는 렌즈에 의해 집속된 레이저빔을 진공챔버의 윈도우를 통하여 입사시켜 상기 진공챔버내의 기판에 박막을 형성시키는 펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치로서, 상기 진공챔버의 윈도우를 통하여 입사된 펄스 레이저 빔의 방향과 직교하여 상기 렌즈의 초점 거리 위치에 설치된 핀홀을 가진 박판; 상기 금속 박판 아래쪽 소정의 위치에 상기 레이저 빔의 방향과 직교하여 설치되어 타겟을 고정하는 타겟고정부; 상기 타겟고정부로부터 소정의 상단 위치로 이격되어 박막을 형성시킬 상기 기판을 고정하는 기판고정부; 및 상기 기판고정부를 회전시켜 상기 기판에 균일하게 박막을 형성시키기 위한 제1모터제어부를 포함함을 특징으로 한다.본 발명에 의한 수직 입사 펄스 레이저를 이용한 증착장치는 레이저 빔을 타겟면에 수직으로 입사시켜 타겟에서 발생되는 플룸(plume)의 방향을 일정하게 유지시키고, 알루미늄 포일을 통하여 레이저를 입사시킴으로써 윈도우에 플룸이 증착되는 것을 방지하여 일정하고 균일한 박막층들을 형성시키는 것을 가능하게 한다.
Int. CL H01S 5/30 (2006.01)
CPC H01L 21/2026(2013.01) H01L 21/2026(2013.01) H01L 21/2026(2013.01)
출원번호/일자 1019990052987 (1999.11.26)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0319396-0000 (2001.12.18)
공개번호/일자 10-2001-0048323 (2001.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20020105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.11.26)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김동언 대한민국 경상북도포항시남구
2 전인준 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이상용 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)
3 권석흠 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)(유미특허법인)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1999.11.26 수리 (Accepted) 1-1-1999-0157092-71
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 1999.11.27 수리 (Accepted) 1-1-1999-5402714-92
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2000-0012365-15
4 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.11.13 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-0238622-30
5 등록결정서
Decision to grant		 2001.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0328277-06
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

렌즈에 의해 집속된 레이저 빔을 진공챔버의 윈도우를 통하여 입사시켜 상기 진공챔버내의 기판에 박막을 형성시키는 펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치에 있어서,

상기 진공챔버의 윈도우를 통하여 입사된 펄스 레이저 빔의 방향과 직교하여 상기 렌즈의 초점 거리 위치에 설치된 핀홀을 가진 박판;

상기 박판 아래쪽 소정의 위치에, 상기 레이저 빔의 방향과 직교하여 설치되며 타겟을 고정하는 타겟고정부;

상기 타겟고정부로부터 소정의 상단 위치로 이격되어 박막을 형성시킬 상기 기판을 고정하는 기판고정부; 및

상기 기판고정부를 회전시켜 상기 기판에 균일하게 박막을 형성시키기 위한 제1모터제어부를 포함함을 특징으로 하는 펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 박판은

알루미늄 박판임을 특징으로 하는 펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치

3 3

제1항에 있어서,

다수의 타겟을 고정하는 상기 타겟고정부를 회전시켜 레이저 빔이 해당 타겟에 수직으로 입사되도록 위치시키는 제2모터제어부를 더 구비함을 특징으로 하는 펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치

4 4

렌즈에 의해 집속된 레이저 빔을 진공챔버의 윈도우를 통하여 입사시켜 상기 진공챔버내의 기판에 박막을 형성시키는 펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치에 있어서,

상기 진공챔버의 윈도우를 통하여 입사된 펄스 레이저 빔을 소정의 각도로 반사시키는 반사경;

상기 반사된 레이저빔의 방향과 수직으로 설치된 핀홀을 가진 박판;

상기 박판의 핀홀을 통과하는 상기 레이저빔의 방향과 직교하여 설치되며 타겟을 고정하는 타겟고정부;

상기 타겟고정부로부터 소정의 상단 위치로 이격되어 박막을 형성시킬 상기 기판을 고정하는 기판고정부; 및

상기 기판고정부를 회전시켜 상기 기판에 균일하게 박막을 형성시키기 위한 제1모터제어부를 포함함을 특징으로 하는 수직 입사 펄스 레이저를 이용한 박막 증착장치

5 5

제4항에 있어서, 상기 박판은

알루미늄 박판임을 특징으로 하는 펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치

6 6

제4항에 있어서,

다수의 타겟을 고정하는 상기 타겟고정부를 회전시켜 레이저 빔이 해당 타겟에 수직으로 입사되도록 위치시키는 제2모터제어부를 더 구비함을 특징으로 하는펄스 레이저의 수직 입사를 이용한 박막 증착장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.