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마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치

  • 기술번호 : KST2015187280
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치에 관한 것으로, 기판 위에 얇은 멤브레인 구조물(11), 즉 셔틀 매스가 형성되고 그 멤브레인 구조물(11)위에 형성된 X-선 흡수체((12)로 구성되는 마스크부(10)와, 마스크부(10)를 지지하기 위해 일정간격 떨어져 둘러싸도록 설치되는 마스크 홀더부(20)와, 마스크부(10)를 상기 마스크 홀더(20)로부터 탄성이동가능하도록 마스크부(10)와 마스크 홀더부(20)사이를 연결하는 하나이상의 탄성지지체(31)와, 마스크부(10) 외측과 마스크 홀더부(20) 내측에 각각 다수개의 빗형상체(comb)로 이루어진 전극(32)을 상호 이격된 거리를 두고 교차되게 형성하여 전극(32)에 인가된 전기력에 의해 미소 변위생성능력을 발생시켜 마스크(10)의 위치를 정밀하게 제어하는 마이크로 액츄에이터부(30)를 포함한다.이와 같은 본 발명에 따르면, 방사광 가속기의 X-선을 이용하는 LIGA 공정 시 마스크부만을 직접 움직여가면서 3차원 구조물을 정밀하게 제작할 수 있다.
Int. CL G03F 1/22 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020010018561 (2001.04.09)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0460206-0000 (2004.11.26)
공개번호/일자 10-2002-0078700 (2002.10.19) 문서열기
공고번호/일자 (20041208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.04.09)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 경상북도포항시남구
2 이광철 대한민국 경상북도포항시남구
3 문상준 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2001-0078898-49
2 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.07.05 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-0165881-93
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2001.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2001-5191398-34
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.12.18 수리 (Accepted) 9-1-2002-0032780-93
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0382802-02
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0452712-19
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2003-0505188-15
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0039593-85
10 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.02.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0084331-85
11 의견서
Written Opinion		 2004.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2004-0084332-20
12 등록결정서
Decision to grant		 2004.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0349308-74
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치에 있어서,

기판 위에 얇은 멤브레인 구조물이 형성되고 그 멤브레인 구조물위에 형성된 X-선 흡수체로 구성되는 마스크부와,

상기 마스크부를 지지하기 위해 일정간격 떨어져 둘러싸도록 설치되는 마스크 홀더부와,

상기 마스크부를 상기 마스크 홀더로부터 탄성이동 가능하도록 상기 마스크부와 상기 마스크 홀더부사이를 연결하는 하나이상의 탄성지지체와,

상기 마스크부 외측과 상기 마스크 홀더부 내측에 각각 다수개의 빗형상체(comb)로 이루어진 전극을 상호 이격된 거리를 두고 교차되게 형성하여 전극에 인가된 전기력에 의해 미소 변위생성능력을 발생시켜 마스크의 위치를 정밀하게 제어하는 마이크로 액츄에이터부를 포함하는 마이크로 액튜에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치

2 2

삭제
3 3

제 1항에 있어서, 상기 전극 중 다수의 고정자 전극은 마스크 홀더부에 형성되고 다수의 이동자 전극은 마스크부에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치

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DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US6501824 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.