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(바륨,스트론튬)삼산화티탄박막의제조방법

  • 기술번호 : KST2015187303
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기금속 화학 증착법을 이용한 (Ba, Sr)TiO3 박막의 제조방법에 관한 것으로, 알콜 용매에 하기 화학식 1의 바륨 화합물, 화학식 2의 스트론튬 화합물 및 화학식 3의 티탄 화합물을 용해시켜 얻은 용액을 전구체로 사용하는 것을 특징으로 하는 본 발명의 방법에 따르면 분자간의 뭉침현상이 없을 뿐만 아니라 탄소의 함량이 저하된 (Ba, Sr)TiO3형 박막을 수득할 수 있다.
Int. CL C23C 16/40 (2006.01)
CPC C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01)
출원번호/일자 1019980052703 (1998.11.30)
출원인 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0298129-0000 (2001.05.29)
공개번호/일자 10-2000-0034765 (2000.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20021118) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.11.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이정현 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1998.11.30 수리 (Accepted) 1-1-1998-0404384-91
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.12.03 수리 (Accepted) 1-1-1998-0404385-36
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.12.03 수리 (Accepted) 1-1-1998-0404386-82
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005580-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.30 수리 (Accepted) 4-1-1999-0122834-81
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2000-0012365-15
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0253918-93
8 의견서
Written Opinion		 2000.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2000-5367498-95
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.11.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5367500-00
10 등록사정서
Decision to grant		 2001.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0078719-32
11 FD제출서
FD Submission		 2001.06.07 수리 (Accepted) 2-1-2001-5093295-43
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
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번호 청구항
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유기금속 화학 증착법을 이용하여 (Ba, Sr)TiO3형 박막을 제조하는데 있어서, 하기 화학식 1의 바륨 화합물, 하기 화학식 2의 스트론튬 화합물 및 하기 화학식 3의 티탄 화합물을 1-x:x:1+y(0≤x≤1, y≥0)의 몰비로 알콜 용매에 용해시킨 후, 이 전구체 용액을 240 내지 280℃의 온도에서 기화시키고, 생성된 전구체 기체를 산화 기체와 함께 300 내지 650℃의 온도로 가열된 기재와 접촉시키는 것을 특징으로 하는, (바륨, 스트론튬)삼산화티탄 박막의 제조방법

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제 1 항에 있어서,

전구체 용액을 다공성 금속 프릿(frit)이 장착된 기화기에서 기화시키는 것을 특징으로 하는 방법

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제 1 항에 있어서,

기판의 온도가 480℃ 이상인 경우에는 상기 화학식 1의 화합물, 화학식 2의 화합물 및 화학식 3의 화합물을 1-x:x:1+y(0≤x≤1, y=0)의 몰비로 혼합하는 것을 특징으로 하는 방법

4 4

제 1 항에 있어서,

기판의 온도가 480℃ 미만인 경우에는 상기 화학식 1의 화합물, 화학식 2의 화합물 및 화학식 3의 화합물을 1-x:x:1+y(0≤x≤1, y〉0)의 몰비로 혼합하는 것을 특징으로 하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.