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질화물 반도체 박막 위에 질화물 반도체의 나노막대 또는 나노튜브가 유기화학증착법 또는 분자빔에피증착법에 의해 수직으로 성장된 구조를 가진 질화물 반도체 이종접합 구조체
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제 1 항에 있어서,질화물 반도체 박막과 질화물 반도체 나노막대 또는 나노튜브의 반도체 유형이 p형과 n형 중에서 선택된 서로 다른 것임을 특징으로 하는, 이종접합 구조체
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제 1 항에 있어서, 질화물 반도체 박막이 단결정 형태이거나 사파이어, 유리 또는 실리콘 기판위에 질화물 반도체가 증착된 형태임을 특징으로 하는, 이종접합 구조체
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제 1 항에 있어서, 질화물 반도체 박막이 50 nm 내지 200 ㎛ 범위의 두께를 가짐을 특징으로 하는, 이종접합 구조체
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제 1 항에 있어서,나노막대 또는 나노튜브가 지름이 5 nm 내지 100 nm 범위이고 길이가 5 nm 내지 100 ㎛ 범위인 것임을 특징으로 하는, 이종접합 구조체
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6
제 1 항에 있어서, 질화물 반도체가 GaN, AlN, InN 또는 이들 성분 함유 질소 화합물로 구성된 것임을 특징으로 하는, 이종접합 구조체
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 이종접합 구조체를 이용하여 제작된 나노 소자 또는 이의 어레이
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제 7 항에 따른 나노 소자 어레이를 이용한 나노시스템 또는 집적회로
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제 7 항에 따른 나노 소자 어레이를 이용한 나노시스템 또는 집적회로
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