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마이크로 광 조형 방법에 있어서, 소정의 광학계를 통하여 수 ㎛ 직경을 갖는 초점된 레이저 빔을 광 경화성 수지 표면 위에 주사하는 레이저 빔 주사 단계; 상기 레이저 빔 주사 단계를 통해 소정의 광 경화성 수지 단면 층을 성형하는 성형 단계; 상기 성형 단계에 의해 상기 단면 층이 성형되었으면, 상기 단면 층위에 상기 성형 단계를 반복 적용하여 광 경화성 수지 단면 층을 연속적으로 적층 성형하여 3차원 광 경화성 수지 구조물을 조형하는 조형 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형 방법
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제1항에 있어서, 상기 레이저 빔은 자외선 레이저 빔인 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형 방법
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제1항에 있어서, 상기 레이저 빔은 적외선 레이저 빔인 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형 방법
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제1항에 있어서, 상기 각 단계는 수지(resin)의 자유액면 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형 방법
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마이크로 광 조형 장치에 있어서, 레이저 광원; 상기 레이저 광원에서 출력되는 레이저 빔을 수 ㎛ 직경을 갖는 초점된 레이저 빔으로 하기 위한 광학계 수단; 상기 레이저 빔의 경로를 x축 및 y축 방향으로 제어하기 위한 x-y축 스테이지; 상기 레이저 빔에 의해 경화되는 광 경화 수지의 단면 층 두께를 조절하기 위한 z축 스테이지를 포함하고, 상기 x-y축 스테이지를 통해 상기 레이저 빔을 상기 광 경화성 수지 표면 위에 주사하여 광 경화성 수지 단면 층을 성형하고 이를 상기 z축 스테이지를 통해 연속적으로 적층 성형시킴으로써 최종적으로 3차원 마이크로 광 경화성 수지 구조물을 조형하도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형 장치
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제5항에 있어서, 상기 광 경화성 수지 단면 층의 성형 및 구조물의 조형은 자유액면 수지(resin) 상태에서 달성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형 장치
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 수지의 점성에 따른 영향을 감소시키기 위해 상기 z축 스테이지에 연결된 엘리베이터를 상기 광 경화성 수지 단면 층의 두께 높이보다 더 깊이 아래 방향으로 이동시킨 후, 재차 위쪽 방향으로 이동시켜 소정시간 대기한 후 상기 광 경화성 수단 단면 층의 성형을 시작하도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로 광 조형 장치
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