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기판 상에 형성된 다이들의 패드들과 전기적으로 접촉하여 다이들을 검사하는 복수의 프로브들(probes);
상기 복수의 프로부들 상에 위치하고 전기적으로 연결되는 제1 배선을 포함하는 제1 배선부;
상기 제1 배선부 상에 위치하고 상기 제1 배선과 전기적으로 연결되는 복수의 인터포저들(interposers)을 포함하는 인터포저부; 및
상기 인터포저부 상에 위치하고 상기 인터포저들과 전기적으로 연결되는 제2 배선을 포함하는 제2 배선부를 포함하고,
상기 인터포저들의 일부 또는 전부는:
도전 부재;
상기 제1 배선과 상기 도전 부재가 전기적으로 연결되도록 상기 도전 부재의 제1 단부에 형성된 제1 연결 부재;
상기 도전 부재와 상기 제2 배선이 전기적으로 연결되도록 상기 도전 부재의 제2 단부에 형성된 제2 연결 부재; 및
상기 제1 및 제2 연결 부재 사이의 상기 도전 부재의 외측에 형성된 하나 또는 그 이상의 돌출 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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제 1 항에 있어서, 상기 인터포저들 각각은 하나 또는 그 이상의 돌출 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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3
제 2 항에 있어서, 상기 돌출 부재들은 상기 도전 부재의 중앙을 중심으로 상기 제1 단부에 인접하여 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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4
제 2 항에 있어서, 상기 돌출 부재들을 상기 도전 부재의 중앙을 중심으로 상기 제2 단부에 인접하여 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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5
제 2 항에 있어서, 상기 돌출 부재들을 상기 도전 부재의 중앙을 중심으로 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부의 양측에 인접하여 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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6
제 5 항에 있어서, 상기 제1 단부에 인접하여 형성된 상기 돌출부재들과 상기 제2 단부에 인접하여 형성된 상기 돌출부재들은 서로 동일한 갯수인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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7
제 1 항에 있어서, 상기 인터포저들은 전기적 신호 전달을 위한 신호 인터포저와 접지와 연결된 접지 인터포저가 서로 그룹을 이루어 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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8
제 7 항에 있어서, 상기 그룹을 이루는 상기 신호 인터포저 및 상기 접지 인터포저 중 하나에만 하나 또는 그 이상의 돌출 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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9
제 8 항에 있어서, 상기 돌출 부재들은 상기 도전 부재의 중앙을 중심으로 상기 제1 단부에 인접하여 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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10
제 8 항에 있어서, 상기 돌출 부재들을 상기 도전 부재의 중앙을 중심으로 상기 제2 단부에 인접하여 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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11
제 8 항에 있어서, 상기 돌출 부재들을 상기 도전 부재의 중앙을 중심으로 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부의 양측에 인접하여 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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12
제 11 항에 있어서, 상기 제1 단부에 인접하여 형성된 상기 돌출부재들과 상기 제2 단부에 인접하여 형성된 상기 돌출부재들은 서로 동일한 갯수인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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13
제 1 항에 있어서, 상기 돌출 부재들의 외측 형상은 원형, 타원형 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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14
제 1 항에 있어서, 상기 돌출 부재들은 모두 동일한 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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15
제 1 항에 있어서, 상기 돌출 부재들의 외경은 상기 제1 연결 부재 및 제2 연결 부재 중 하나 또는 이들 모두의 외경에 비하여 큰 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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16
제 1 항에 있어서, 상기 돌출 부재는 도전성을 가지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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17
제 1 항에 있어서, 상기 돌출 부재는 탄소 또는 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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18
제 1 항에 있어서, 상기 도전 부재는 원기둥, 다각기둥 또는 파이프의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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19
제 1 항에 있어서, 상기 도전 부재는 탄소 또는 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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20
제 1 항에 있어서, 상기 인터포저들은 하우징(Housing)에 의하여 둘러싸이는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 어셈블리
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