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1
소정 간격을 두고 나란히 배치되는 하나 이상의 제1전극과 하나 이상의 제2전극; 및
상기 제1전극과 상기 제2전극에 연결되는 전원장치를 구비하고,
상기 제1전극과 상기 제2전극은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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2
제1항에 있어서, 상기 절연 피막은,
산화 피막 또는 질화 피막인 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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3
제1항에 있어서, 상기 나노 기공들은,
원형, 판형, 또는 원통형 단면 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에는,
피처리 물질이 삽입되는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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5
제1항에 있어서,
상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 공기를 주입하는 공기 주입기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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6
제5항에 있어서, 상기 공기 주입기는,
아르곤, 헬륨, 또는 수소를 주입하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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7
원통막대 형태의 제1전극;
원통막대 형태를 가지고 상기 제1전극과 소정 간격을 두고 나란히 배치되는 제2전극; 및
상기 제1전극과 상기 제2전극에 연결되는 전원장치를 구비하고,
상기 제1전극과 상기 제2전극은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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| 8 |
8
원통막대 형태를 각각 가지고 소정 간격을 두고 제1방향으로 나란히 배치되는 복수개의 제1전극들;
원통막대 형태를 각각 가지고 소정 간격을 두고 제1방향으로 나란히 배치되는 제2전극들; 및
상기 제1전극과 상기 제2전극에 연결되는 전원장치를 구비하고,
상기 복수개의 제1전극들 각각은, 그에 대응되는 상기 복수개의 제2전극들 각각과 소정 간격을 두고 상기 제1방향에 수직인 제2방향으로 나란히 배치되고,
상기 제1전극과 상기 제2전극은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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9
원통막대 형태를 가지고 소정 간격을 두고 서로 나란히 배치되는 제1전극과 제2전극을 각각 포함하는 복수개의 전극 쌍들; 및
상기 제1전극과 상기 제2전극에 연결되는 전원장치를 구비하고,
상기 복수개의 전극 쌍들의 제1전극과 제2전극 사이에는 피처리 물질이 삽입되고,
상기 제1전극과 상기 제2전극은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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10
제1직경의 원통막대 형태를 가지는 제1전극;
상기 제1직경보다 작은 제2직경의 원통막대 형태를 각각 가지고, 상기 제1전극과 소정 간격을 두고 상기 제1전극의 몸통 옆에 배치되는 복수개의 제2전극들; 및
상기 제1전극과 상기 복수개의 제2전극들에 연결되는 전원장치를 구비하고,
상기 제1전극과 상기 제2전극들은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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11
판 형태를 가지는 제1전극;
판 형태를 가지고 상기 제1전극과 소정 간격을 두고 대향하여 배치되는 제2전극;
상기 제1전극과 상기 복수개의 제2전극들에 연결되는 전원장치를 구비하고,
상기 제1전극과 상기 제2전극들은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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12
판 형태를 가지는 제1전극;
원통막대 형태를 각각 가지고, 상기 제1전극의 넓은 면에서 소정 간격 떨어져서 나란히 배치되는 복수개의 제2전극들;
상기 제1전극과 상기 복수개의 제2전극들에 연결되는 전원장치를 구비하고,
상기 제1전극과 상기 제2전극들은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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13
복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막이 입혀진 내벽과 뚫려 있는 내부를 구비하는 원통 형태의 제1전극;
복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막이 입혀진 외벽을 구비하는 원통막대 형태를 가지고, 상기 제1전극의 내벽에서 소정 거리 떨어져서 상기 제1전극의 내부에 삽입되는 제2전극;
상기 제1전극과 상기 복수개의 제2전극들에 연결되는 전원장치; 및
상기 제1전극의 뚫려 있는 내부로 공기를 주입하는 공기 주입기를 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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14
내부가 뚫려 있는 원통 형태를 가지는 제1영역; 및 상기 제1영역에 일체로 형성되고 직경이 줄어드는 형태를 가지는 제2영역을 포함하는 제1전극;
내부가 뚫려 있는 원통막대 형태를 가지는 제1영역; 및 상기 제1영역에 일체로 형성되고 직경이 줄어드는 형태를 가지는 제2영역을 포함하고, 상기 제1전극의 내벽에서 소정 거리 떨어져서 상기 제1전극에 삽입되는 제2전극; 및
상기 제2전극의 뚫려 있는 내부로 공기를 주입하는 공기 주입기를 구비하고,
상기 제2전극은, 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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15
원통막대 형태의 제1전극;
원통막대 형태를 가지고 상기 제1전극과 소정 간격을 두고 나란히 배치되는 제2전극;
상기 제1전극과 상기 제2전극에 연결되는 전원장치; 및
상기 제1 및 제2전극의 신장 방향과 수직 방향으로, 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 공기를 주입하는 공기 주입기를 구비하고,
상기 제1전극과 상기 제2전극은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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16
원통막대 형태를 각각 가지고 소정 간격을 두고 제1방향으로 나란히 배치되는 복수개의 제1전극들;
원통막대 형태를 각각 가지고 소정 간격을 두고 제1방향으로 나란히 배치되는 복수개의 제2전극들;
상기 제1전극들과 상기 제2전극들에 연결되는 전원장치; 및
상기 제1 및 제2전극들의 신장 방향과 동일한 방향으로, 상기 제1전극들과 상기 제2전극들 사이에 공기를 주입하는 공기 주입기를 구비하고,
상기 제1전극과 상기 제2전극은,
금속도체; 및
상기 금속도체 표면에 형성되고 복수개의 나노 기공들을 가지는 절연 피막을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치
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