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중공음극방전 막 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015187431
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 차세대 영상산업인 유연한 영상표시 장치에 응용될 수 있는 중공음극방전 막을 마이크로머시닝기술로 제작하는 방법과 제작된 소자의 시험에 관한 것이다. 비교적 간단한 구조와 제작 방법으로 만들어 졌다. 중공음극방전 막은 중공음극형태가 아닌 일반적인 방전에 비해 방전 효율이 뛰어나다. 또한 낮은 전압과 비교적 높은 압력에서 동작이 가능한 이점을 가지고 있다. 위에 기술한 장점을 지닌 본 중고음극방전 막은 양극과 음극으로 구성되며 각각 알루미늄과 니켈로 제작되었다. 제조 방법은 다음과 같은 단계로 이루어진다. 실리콘 웨이퍼 위에 금속의 도금 씨앗층을 만들고 음성 후막 감광제를 이용해 도금을 통하여 중공음극으로 사용될 음극을 제작하는 단계, 절연층과 양극을 제작하는 단계, 절연층과 양극을 관통하는 구멍을 만들어 중공음극방전 막을 제작하는 단계로 구성된다. 방전 현상은 파센에 의해 발견되고 이론적 개념이 정리되었다. 파센의 법칙에 의해 해석되다. 중공음극방전현상의 경우 기체의 압력과 중공음극의 직경에 의해 방전개시 전압이 결정되게 된다. 중공음극방전의 전류밀도가 평판음극 방전의 전류밀도보다 높아서 더 밝은 빛을 발하는 장점을 갖는다. 이는 중공음극의 전류밀도가 높기 때문인데, 방전시 음극강하영역에서 전자들의 진동운동으로 기체의 이온화 정도가 급격히 증가하여 생기는 현상이다. 본 발명의 중공음극방전 막은 사진 식각 기술, 금속 증착 등의 마이크로머시닝 공정으로 제작함으로써 중공음극의 직경을 수십 마이크로미터 이하의 크기로 제작가능하고, 집적화 및 일괄 공정에 의한 대량 생산 및 생사 단가의 절감을 꾀할 수 있다. 중공음극방전, 방전, 마이크로머시닝, 광원
Int. CL H01J 9/02 (2006.01) H01J 11/20 (2006.01)
CPC H01J 9/02(2013.01) H01J 9/02(2013.01) H01J 9/02(2013.01) H01J 9/02(2013.01) H01J 9/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060004287 (2006.01.16)
출원인 아주대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2007-0075714 (2007.07.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.09)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양상식 대한민국 서울시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤재승 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 덕천빌딩 *층 (역삼동)(예준국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2006-0028343-00
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.10.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0704083-71
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.07.16 수리 (Accepted) 9-1-2009-0042660-54
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0447904-25
6 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0759116-02
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0809803-67
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2010.02.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0051014-08
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-5000672-13
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번호 청구항
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직류 전압을 인가하여 방전을 시키는 방전 소자; 마이크로머시닝을 기술을 적용한 수십 마이크로미터 이하의 직경을 가진 중공음극; 유연한 성질을 가진 중공음극방전 막; 상기의 모든 항을 포함하여, 저렴한 전원인 직류 전압을 이용하여 양극과 음극에 전압을 인가하면 마이크로머시닝 기술로 제작된 중공음극 영역에서 방전이 개시되며, 얇은 막으로 제작되었기에 유연한 성질을 가지고 있는 중공음극방전 막
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방전 소자의 제조 방법에 있어서 실리콘 하부 기판에 가열이용 진공증착 방식으로 크롬/금을 증착한 후, 마이크로머시닝 기술을 이용하여 중공음극 영역으로 제작될 감광막을 형성하는 단계; 니켈 전기도금을 통하여 음극을 제작하는 단계; 양극과 음극을 분리하기 위한 절연막을 도포하고 그 위에 가열이용 진공증착 방식으로 양극을 제작하는 단계; 하부 기판과 분리하여 유연한 중공음극방전 막을 만드는 단계; 상기의 모든 항을 포함하여 제작됨을 특징으로 하는 중공음극방전 막을 제작하는 방법
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방전 소자의 제조 방법에 있어서 실리콘 하부 기판에 가열이용 진공증착 방식으로 크롬/금을 증착한 후, 마이크로머시닝 기술을 이용하여 중공음극 영역으로 제작될 감광막을 형성하는 단계; 니켈 전기도금을 통하여 음극을 제작하는 단계; 양극과 음극을 분리하기 위한 절연막을 도포하고 그 위에 가열이용 진공증착 방식으로 양극을 제작하는 단계; 하부 기판과 분리하여 유연한 중공음극방전 막을 만드는 단계; 상기의 모든 항을 포함하여 제작됨을 특징으로 하는 중공음극방전 막을 제작하는 방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.