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제 1 표면탄성파를 발생시키고, 소정 위치에 놓인 금속 점 층(Metallic dot layer)에서 상기 제 1 표면탄성파의 속도성분과 인가된 각속도의 상호작용으로 코리올리힘(Coriolis force)을 발생시키며, 상기 코리올리힘에 의해 제 2 표면탄성파를 발생시키는 표면탄성파공진기;제 3 표면탄성파를 발생시키며, 상기 제 3 표면탄성파가 상기 제 2 표면탄성파에 의해 간섭을 일으킨 후 반사되어 돌아온 제 4 표면탄성파를 수신하는 표면탄성파센싱발진기; 및상기 제 4 표면탄성파가 수신되는 시간의 변화량을 이용하여 상기 인가된 각속도 크기를 측정하는 측정장치를 포함하고,상기 표면탄성파센싱발진기는,상기 각속도가 인가되지 않은 경우 상기 제 3 표면탄성파를 반사시켜 입출력 전극으로 기준표면탄성파를 전달하고, 상기 각속도가 인가된 경우 상기 제 2 표면탄성파에 의해 간섭을 일으킨 상기 제 3 표면탄성파를 반사시켜 상기 입출력 전극으로 상기 제 4 표면탄성파를 전달하는 복수의 리플렉터들; 및무선으로 수신된 RF 신호를 이용하여 상기 제 3 표면탄성파를 발생시키고, 상기 기준표면탄성파 또는 상기 제 4 표면탄성파를 수신하여 전기적 신호로 변환하는 상기 입출력 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제1항에 있어서, 상기 표면탄성파센싱발진기는,전원이 연결되지 않고, 상기 측정장치와 무선으로 송수신하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제1항에 있어서, 상기 측정장치는,상기 리플렉터들 중 동일한 리플렉터에서 반사된 상기 기준표면탄성파와 상기 제 4 표면탄성파가 상기 입출력전극에 수신된 시간차를 이용하여 상기 인가된 각속도 크기를 측정하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제1항에 있어서, 상기 표면탄성파공진기는,상기 리플렉터들 중 인접한 두 개의 리플렉터들 사이 영역으로 상기 제 3 표면탄성파와 수평하지 않은 방향으로 상기 제 2 표면탄성파를 전달하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제5항에 있어서, 상기 제 3 표면탄성파 진행 방향으로 위치한 상기 리플렉터들 중 상기 제 2 표면탄성파가 전달되는 영역 이후에 위치한 적어도 하나의 리플렉터는 온도에 의한 오차를 보상하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제1항에 있어서, 상기 입출력 전극은,단일위상 한방향 변환기(SPUDT : Single phase unidirectional transducer)인 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제1항에 있어서, 상기 표면탄성파센싱발진기는,상기 RF 신호를 무선으로 수신하고, 상기 기준표면탄성파 또는 상기 제 4 표면탄성파가 변환된 전기적 신호를 상기 측정장치로 무선으로 송신하는 무선 송수신부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,상기 금속 점 층(Metallic dot layer)은 상기 제1표면탄성파의 파복(antinode) 위치에 놓이는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제 1항에 있어서, 상기 표면탄성파공진기는 일단에 입력 전극(IDT : Inter Digital Transducer)을 두고 타단에 출력 전극(IDT : Inter Digital Transducer)을 포함하는 2포트 방식이며, 상기 입력 전극과 상기 출력 전극 사이에 상기 금속 점 층(Metallic dot layer)이 배치되는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,상기 표면탄성파 공진기는 VCO(Voltage-controlled oscillator)로부터 구동에너지를 공급받는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 자이로스코프
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제 1 표면탄성파 및 제 3 표면탄성파를 각각 생성하는 표면탄성파 생성단계;소정 위치에 놓인 금속 점 층(Metallic dot layer)에서 상기 제 1 표면탄성파의 속도성분과 인가된 각속도의 상호작용으로 코리올리힘(Coriolis force)을 발생시키는 코리올리힘 생성단계;상기 코리올리힘에 의해 제 2 표면탄성파를 생성하는 제 2 표면탄성파 생성단계;상기 제 3 표면탄성파가 상기 제 2 표면탄성파에 의해 간섭을 일으킨 후 반사되어 돌아오는 제 4 표면탄성파를 수신하는 제 4 표면탄성파 수신단계; 및상기 제 4 표면탄성파가 수신되는 시간의 변화량을 이용하여 상기 인가된 각속도 크기를 측정하는 각속도 측정 단계를 포함하고, 상기 표면탄성파 생성단계는,전원을 공급받지 않고 무선으로 수신된 RF 신호를 이용하여 상기 제 3 표면탄성파를 생성하는 단계를 포함하고,상기 각속도 측정 단계는,상기 각속도 측정 단계를 수행하는 측정장치로 상기 제 4 표면탄성파가 변환된 전기적 신호를 무선으로 수신하여 상기 인가된 각속도 크기를 측정하는 각속도 측정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 각속도 측정 방법
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제12항에 있어서, 상기 각속도 측정 방법은,상기 각속도가 인가되지 않은 경우 상기 제 3 표면탄성파가 반사되어 돌아오는 기준표면탄성파를 생성하는 기준표면탄성파 생성단계를 더 구비하고,상기 각속도 측정 단계는,상기 기준표면탄성파 또는 상기 제 4 표면탄성파를 반사하는 리플렉터들 중 동일한 리플렉터에서 반사된 상기 기준표면탄성파와 상기 제 4 표면탄성파가 수신된 시간차를 이용하여 상기 인가된 각속도 크기를 측정하는 단계인 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 각속도 측정 방법
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제12항에 있어서,상기 제 3 표면탄성파를 생성하여 출력하는 출력단과 상기 제 4 표면탄성파를 수신하는 입력단은 동일한 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용한 각속도 측정 방법
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