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플라즈마 발생용 기체가 통과할 수 있도록 병렬로 배열된 다수의 미세유로채널-여기서 다수의 미세유로채널은 몰드에 폴리머 용액을 경화시켜 생성됨-이 형성된 채널층;상기 채널층의 일면에 접합되며, 상기 다수의 미세유로채널에 걸쳐 제1 플라즈마 발생용 전극이 형성된 제1 절연층; 및상기 채널층의 타면에 접합되며, 상기 다수의 미세유로채널에 걸쳐 제2 플라즈마 발생용 전극이 형성된 제2 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 절연층이 고정되는 제1 기판; 및상기 제2 절연층이 고정되는 제2 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자
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제1항에 있어서,상기 채널층은 폴리머 계열의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층은 폴리머 계열의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 플라즈마 발생용 전극 및 상기 제2 플라즈마 발생용 전극은 니켈 도금으로 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 분사 소자
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제1항에 있어서,상기 다수의 미세유로채널은 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층에 의하여 상기 제1 플라즈마 발생용 전극 및 상기 제2 플라즈마 발생용 전극과 절연되는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자
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둘 또는 그 이상의 제1항에 따른 마이크로 플라즈마 분사 소자들이 기판을 사이에 두고 적층된 구조의 마이크로 플라즈마 분사 모듈
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마이크로 플라즈마 분사 소자의 제작 방법에 있어서,형성하고자 하는 다수의 미세유로채널에 상응하도록 기판의 일면에 감광제를 패터닝하여 몰드를 형성하는 공정;상기 몰드에 폴리머 용액을 붓고 경화시켜 채널층을 형성하는 공정;상기 채널층을 상기 몰드로부터 분리하는 공정;형성하고자 하는 제1 플라즈마 발생용 전극의 패턴과 상응하도록 제1 기판의 일면에 씨앗층을 패터닝하는 공정;상기 씨앗층을 도금하여 제1 플라즈마 발생용 전극을 형성하는 공정;상기 제1 기판의 상기 제1 플라즈마 발생용 전극이 형성된 면을 폴리머 코팅으로 코팅하여 제1 절연층을 형성하는 공정;형성하고자 하는 제2 플라즈마 발생용 전극의 패턴과 상응하도록 제2 기판의 일면에 씨앗층을 패터닝하는 공정;상기 씨앗층을 도금하여 제2 플라즈마 발생용 전극을 형성하는 공정;상기 제2 기판의 상기 제2 플라즈마 발생용 전극이 형성된 면을 폴리머 코팅으로 코팅하여 제2 절연층을 형성하는 공정; 및상기 제1 절연층, 상기 채널층, 상기 제2 절연층을 접합하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 폴리머 용액은 PDMS(polydimethylsiloxane) 용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 씨앗층을 패터닝하는 공정은 타이타늄 또는 금을 증착하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 제1 플라즈마 발생용 전극을 형성하는 공정 또는 상기 제2 플라즈마 발생용 전극을 형성하는 공정은, 상기 씨앗층을 니켈 전해도금하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플라즈마 분사 소자 제작 방법
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