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기판 표면 상에 배치된 제1 전극층;상기 제1 전극층 상부에 배치되고, 수소 분자를 수소 원자로 해리시킬 수 있는 촉매 금속을 포함하는 제2 전극층; 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 배치되어 상기 제1 전극층과 면접촉하는 하부면 및 상기 제2 전극층과 면접촉하는 상부면을 구비하고, 수소 원자와 반응하여 환원될 수 있는 절연성 물질로 형성된 제1 절연층; 상기 제2 전극층과 이격되도록 상기 제2 전극층 상부에 배치되고, 수소 분자를 수소 원자로 해리시킬 수 있는 촉매 금속을 포함하는 제3 전극층;상기 제2 전극층과 상기 제3 전극층 사이에 배치되어 상기 제2 전극층과 면접촉하는 하부면 및 상기 제3 전극층과 면접촉하는 상부면을 구비하고, 수소 원자와 반응하여 환원될 수 있는 절연성 물질로 형성된 제2 절연층; 상기 제2 전극층과 상기 제3 전극층을 전기적으로 연결시키는 연결배선; 및상기 제1 전극층과 상기 제3 전극층 중 하나 및 상기 제2 전극층과 전기적으로 연결되어 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층의 정전용량 변화를 측정하는 정전용량 측정기를 포함하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서, 상기 촉매 금속은 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 이리듐(Ir), 로듐(Rh), 실버(Ag), 금(Au), 코발트(Co) 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서, 상기 절연성 물질은 백금 산화물(platinum oxide), 팔라듐 산화물(palladium oxide), 로듐 산화물(rhodium oxide), 루테늄 산화물(ruthenium oxide), 베릴륨 산화물(beryllium oxide), 망간 산화물(manganese oxide), 구리 산화물(copper oxide), 철 산화물(iron oxide), 니켈 산화물(nickel oxide), 코발트 산화물(cobalt oxide), 세륨 산화물(cerium oxide), 실버 산화물(silver oxide), 지르코늄 산화물(zirconium oxide) 및 보론 질화물(boron nitride)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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기판의 표면 상에 형성된 박막 구조의 박막 전극부를 구비하는 제1 전극층;상기 박막 전극부의 표면을 피복하도록 상기 기판의 표면 상에 배치되고, 수소 원자와 반응하여 환원될 수 있는 절연성 물질로 형성된 절연층;상기 기판 상부에 노출된 상기 절연층의 표면 전체를 피복하도록 상기 기판의 표면 상에 배치되고, 수소 분자를 수소 원자로 해리시킬 수 있는 촉매 금속으로 이루어진 수소 해리 전극부를 구비하는 제2 전극층; 및상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층과 전기적으로 연결되어 상기 절연층의 정전용량 변화를 측정하는 정전용량 측정기를 포함하는 수소 검출 센서
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제5항에 있어서, 상기 제1 전극층은 상기 박막 전극부와 접촉하고, 상기 기판을 관통하는 제1 관통 전극부를 더 포함하고, 상기 정전용량 측정기는 상기 제1 관통 전극부에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제6항에 있어서, 상기 제2 전극층은 상기 수소 해리 전극부와 접촉하고, 상기 기판을 관통하는 제2 관통 전극부를 더 포함하고,상기 정전용량 측정기는 상기 제2 관통 전극부에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제7항에 있어서, 상기 제2 관통 전극부는 상기 수소 해리 전극부와 다른 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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기판 표면 상에 배치된 제1 전극층;상기 제1 전극층 상부에 배치되고, 수소 원자와 반응하여 환원될 수 있는 절연성 물질로 형성된 절연층;상기 절연층 내부에 배치된 제2 전극층;상기 절연층의 표면을 피복하도록 상기 기판 표면 상에 형성되고, 상기 제1 전극층과 접촉하며, 수소 분자를 수소 원자로 해리시킬 수 있는 촉매 금속을 포함하는 제3 전극층; 및상기 제1 전극층 및 상기 제3 전극층 중 하나 및 상기 제2 전극층과 전기적으로 연결되어 상기 절연층의 정전용량 변화를 측정하는 정전용량 측정기를 포함하는 수소 검출 센서
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제9항에 있어서, 상기 제2 전극층은 상기 제1 전극층과 평행하게 배치된 플레이트 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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