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단일 모드의 선형 편광 상태로 이루어지는 빛살을 제공하는 광원;입사되는 빛살을 편광 상태에 따라 투과시키거나 반사시키는 편광빔스플리터(PBS);PBS를 투과하여 입사되는 빛살을 제1 빛살과 구동 주파수(fRF)만큼 주파수 편향된 제2 빛살로 나누고, 제1 빛살과 제2 빛살을 일정 각도로 분리하여 출력하는 음향 광 변조기(AOM);구동 주파수(fRF)로 AOM을 구동시키는 AOM 구동부;상기 AOM으로부터 출력된 제1 빛살이 진행하는 경로상에 배치되어, 제1 빛살을 제1 빛살의 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 탐사빛(Signal beam)을 제공하는 제1 거울;상기 AOM으로부터 출력된 제2 빛살이 진행하는 경로상에 고정되어 배치되며, 입사되는 제2 빛살을 제2 빛살의 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 기준빛(Reference beam)을 제공하는 제2 거울;상기 제1 거울에 연결되며, 제1 거울을 움직이게 하는 거울 구동부;상기 AOM 과 상기 제1 및 제2 거울들과의 사이에 배치되고, 제1 및 제2 거울에서 반사되어 다시 되돌아온 제1 및 제2 빛살을 원래의 편광방향과 90도가 되도록 편광상태를 회전시켜 출력하는 λ/4-위상지연판(QWP);제1 거울과 제2 거울로부터 각각 제공되어 AOM으로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 동일 경로를 따라 진행하는 탐사빛과 기준빛의 간섭 신호를 검출하여 출력하는 광검출소자; 및AOM 구동부로부터 변조 주파수에 대한 정보를 제공받고, 상기 변조 주파수 를 이용하여 상기 광검출소자로부터 제공되는 간섭 신호를 복조하여 탐사빛에 대한 위상과 진폭변화를 검출하는 복조기;를 구비하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제1항에 있어서, 상기 광원은 레이저, 및 상기 레이저로부터 출력된 광을 PBS의 광축 입사면에 수평으로 정렬하여 출력하는 광 분리기(Optical Isolator);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제1항에 있어서, 상기 AOM으로부터 출력되는 제1 빛살 및 제2 빛살 중 하나는 구동 주파수(fRF)에 의해 변조된 1차(First-order) 빛살이며, 다른 하나는 변조되지 않은 영차(Zero-order) 빛살인 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제1항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는 거울 구동부를 구동시키기 위한 구동 신호를 생성하여 거울 구동부를 구동시키는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제1항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는 주파수 체배기를 더 구비하고, 상기 주파수 체배기는 AOM 구동부로부터 제공되는 변조 주파수를 2배의 주파수로 변환하여 복조기로 출력하는 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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단일 모드의 선형 편광 상태로 이루어지는 빛살을 제공하는 광원;입사되는 빛살을 편광 상태에 따라 투과시키거나 반사시키는 편광빔스플리터(PBS);PBS를 투과하여 입사되는 빛살을 제1 빛살과 구동 주파수(fRF)만큼 주파수 편향된 제2 빛살로 나누고, 제1 빛살과 제2 빛살을 일정 각도로 분리하여 출력하는 음향 광 변조기(AOM);구동 주파수(fRF)로 AOM을 구동시키는 AOM 구동부;상기 AOM으로부터 출력된 제1 빛살이 진행하는 경로상에 배치되어, 제1 빛살을 제1 빛살의 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 탐사빛(Signal beam)을 제공하는 제1 거울;상기 AOM으로부터 출력된 제2 빛살이 진행하는 경로상에 고정되어 배치되며, 입사되는 제2 빛살을 제2 빛살의 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 기준빛(Reference beam)을 제공하는 제2 거울;상기 제1 거울에 연결되며, 제1 거울을 움직이게 하는 거울 구동부;상기 AOM 과 상기 제1 및 제2 거울들과의 사이에 배치되고, 제1 및 제2 거울에서 반사되어 다시 되돌아온 제1 및 제2 빛살을 원래의 편광방향과 90도가 되도록 편광상태를 회전시켜 출력하는 λ/4-위상지연판(QWP);제1 거울과 제2 거울로부터 제공되어 AOM으로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 제1 경로를 따라 진행하는 빛살들에 대한 제1 간섭 신호를 검출하여 출력하는 제1 광검출소자;제1 거울과 제2 거울로부터 제공되어 AOM으로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 제2 경로를 따라 진행하는 빛살들에 대한 제2 간섭 신호를 검출하여 출력하는 제2 광검출소자;제1 광검출소자 및 제2 광검출소자로부터 제1 간섭 신호 및 제2 간섭 신호의 차이값을 출력하는 차동 증폭기; 및상기 차동 증폭기로부터 제1 및 제2 간섭 신호의 차이값이 입력되고, AOM 구동부로부터 구동 주파수를 제공받고, 상기 구동 주파수를 이용하여 차동 증폭기로부터 제공된 신호를 복조하여 탐사빛에 대한 위상과 진폭변화를 검출하는 복조기;를 구비하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제6항에 있어서, 상기 광원은 레이저, 및 상기 레이저로부터 출력된 광을 P파로 정렬하여 출력하는 광 분리기(Optical Isolator);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제6항에 있어서, 상기 AOM으로부터 출력되는 제1 빛살 및 제2 빛살 중 하나는 구동 주파수(fRF)에 의해 변조된 1차(First-order) 빛살이며, 다른 하나는 변조되지 않은 영차(Zero-order) 빛살인 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제6항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는 거울 구동부를 구동시키기 위한 구동 신호를 생성하여 거울 구동부를 구동시키는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제6항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는 주파수 체배기를 더 구비하고, 상기 주파수 체배기는 AOM 구동부로부터 제공되는 구동 주파수를 2배의 주파수로 변환하여 복조기로 출력하는 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제6항에 있어서, 제1 간섭 신호 및 제2 간섭 신호는 모두 구동 주파수의 2배의 주파수(2fRF)를 갖는 것을 특징으로 하며, 제1 간섭 신호 및 제2 간섭 신호의 위상차는 180°인 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제6항에 있어서, 제2 광검출기는 PBS로부터 반사된 빛살들이 진행하는 경로상에 비스듬히 배치된 D-Shaped 거울 및 상기 D-Shaped 거울로부터 반사된 빛살들이 진행하는 경로상에 배치된 광검출기로 구성되는 것을 특징으로 하는 AOM을 이용한 헤테로다인 간섭계
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