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모재 상에 올려진 피전사체를 점착 기판 상에 전사시키기 위한 전사 매개체의 점착조건 결정방법에 있어서,상기 전사 매개체를 특정하는 단계;상기 전사 매개체를 압입(pull-in) 및 해중(pull-off)하는 압입자를 마련하는 단계;상기 압입자가 상기 전사 매개체로부터 해중되는 해중속도(pull-off velocity)를 달리하여 최대 점착력을 측정하는 단계; 및상기 측정된 최대 점착력을 점착 에너지(adhesion energy)로 환산하는 단계;를 포함하며, 상기 환산된 점착 에너지의 변화가 가장 크게 측정되는 상기 해중속도를 선별하고, 상기 선별된 해중속도를 기준으로 상기 전사 매개체의 점착조건을 결정하는 것을 특징으로 하는 전사 매개체의 점착조건 결정방법
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제1항에 있어서, 상기 전사 매개체의 영률(Young’s modulus)을 기준으로 상기 전사 매개체를 특정하는 것을 특징으로 하는 전사 매개체의 점착조건 결정방법
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제1항에 있어서, 상기 측정된 최대 점착력을 점착 에너지로 환산하는 단계에서, 의 수학식을 이용하며, 여기서, γ는 상기 압입자 및 상기 전사 매개체 사이의 단위 면적당 점착 에너지, F는 최대 점착력, ν는 상기 전사 매개체의 푸아송비(Poisson’s ratio), μ는 상기 전사 매개체의 전단 탄성 계수(shear modulus), α는 상기 압입자의 반경, h는 상기 전사 매개체의 두께인 것을 특징으로 하는 전사 매개체의 점착조건 결정방법
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제3항에 있어서, 상기 수학식에서 상기 최대 점착력은, 상기 압입자, 강성 모재, 상기 강성 모재 위에 올려진 탄성 필름을 구비하는 압입 모델에서 상기 압입자가 상기 탄성 필름에 압입된 후 해중될 때의 점착력(contact force: Fp)에 대응하고, 상기 점착력은 의 수학식으로 결정되며, 여기서, α는 상기 압입자의 반경, μ는 상기 탄성 필름의 전단 탄성 계수, δ는 상기 탄성 필름의 압입 깊이, ν는 상기 탄성 필름의 푸아송비인 것을 특징으로 하는 전사 매개체의 점착조건 결정방법
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제1항에 있어서, 상기 전사 매개체가 폴리다이메틸실록산(PDMS)인 경우, 상기 점착력 에너지는 상기 해중속도 및 상기 전사 매개체의 영률에 비례하는 것을 특징으로 하는 전사 매개체의 점착조건 결정방법
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