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트랜지스터 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015187872
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전도성 고분자 트랜지스터 제작시 금속과 계면사이에 DCNQI를 포함하는 버퍼층을 삽입하여 접촉저항과 전자 주입능력을 개선할 수 있는 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면 유기 활성층과 금속 전극사이의 접촉저항이 개선되고 전자 주입능력이 향상되어 저전압으로 고효율을 얻을 수 있다. 또한 본 발명에 따르면 종래의 가로형 트랜지스터와 달리 세로형 적층구조를 적용함으로써 고속도(high speed), 고전력(high power)의 소자를 얻을 수 있다
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) H01L 21/336 (2006.01)
CPC H01L 51/0562(2013.01)H01L 51/0562(2013.01)H01L 51/0562(2013.01)H01L 51/0562(2013.01)
출원번호/일자 1020110108842 (2011.10.24)
출원인 서강대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1287368-0000 (2013.07.12)
공개번호/일자 10-2013-0044666 (2013.05.03) 문서열기
공고번호/일자 (20130718) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.10.24)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오세용 대한민국 서울특별시 서초구
2 민현식 대한민국 경기도 안산시 단원구
3 이태연 대한민국 경상남도 진주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준혁 대한민국 경기도 수원시 팔달구 중부대로 *** B동 *층(우만동, 신아빌딩)(유니크국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0831835-37
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.10.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.11.22 수리 (Accepted) 9-1-2012-0088279-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0739012-23
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0012803-13
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0012804-69
7 등록결정서
Decision to grant
2013.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0436616-51
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.04.16 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2014-0360001-76
9 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2014.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0063930-15
10 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2014.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0083610-89
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
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번호 청구항
1 1
드레인 전극을 형성하는 단계;상기 드레인 전극 상에 제 1 유기 활성층을 형성하는 단계;상기 제 1 유기 활성층 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 제 1 유기 활성층 및 게이트 전극 상에 제 2 유기 활성층을 형성하는 단계, 여기서 상기 제 1 유기활성층과 상기 제 2 유기활성층은 동일한 성분의 유기반도체 화합물이고 ; 상기 제 2 유기 활성층 상에 하기 화학식 1로 표현되는 화합물을 포함하는 버퍼층을 형성하는 단계; 및상기 버퍼층 상에 소스전극을 형성하는 단계로서, 상기 소스전극 형성단계에 의해 상기 버퍼층과 상기 소스전극 사이의 계면에 유기-금속화합물층이 형성되는 단계를 포함하는 트랜지스터 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 소스전극은 알루미늄, 리튬알루미늄, 구리, 금 및 은으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속으로 형성하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 방법은 상기 금속과 상기 화학식 1의 유기화합물을 1 : 2의 조성으로 결합하여 고전도성의 상기 유기-금속화합물층을 형성하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 유기-금속 화합물층은 LiAl(B)2 또는 Al(B)2를 포함하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 LiAl(B)2 또는 Al(B)2는 바늘형태의 형상인 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 유기-금속 화합물층은 두께가 1~10Å인 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 드레인 전극 상에 정공주입층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 버퍼층의 두께를 5~40nm으로 형성하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
9 9
제 1항에 있어서, 상기 버퍼층을 형성하는 단계는 진공 열증착기를 이용하여 10-6torr 이하의 진공상태에서 열증착하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 버퍼층은 증착속도를 0
11 11
제 1항에 있어서, 상기 드레인 전극, 상기 소스 전극, 상기 게이트 전극, 상기 유기 활성층 및 상기 버퍼층은 세로 방향으로 적층되는 것을 특징으로 하는 트랜지스터 제조방법
12 12
드레인 전극;상기 드레인 전극 상에 형성된 제 1 유기 활성층;상기 제 1 유기 활성층 상에 형성된 게이트 전극;상기 제 1 유기 활성층 및 게이트 전극 상에 형성된 제 2 유기 활성층, 여기서 상기 제 1 유기활성층과 상기 제 2 유기활성층은 동일한 성분의 유기반도체 화합물이고 ; 상기 제 2 유기 활성층 상에 형성된 하기 화학식 1로 표현되는 화합물을 포함하는 버퍼층; 및상기 버퍼층 상에 형성된 소스전극을 포함하되, 상기 버퍼층과 상기 소스전극 사이의 계면에 형성된 유기-금속화합물층을 포함하는 트랜지스터
13 13
제 12항에 있어서, 상기 유기-금속화합물층은 상기 금속과 상기 화학식 1의 유기화합물이 1 : 2의 조성으로 결합된 유기-금속화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
14 14
제 12항에 있어서, 상기 유기-금속 화합물은 바늘형상인 LiAl(B)2 또는 Al(B)2인 것을 특징으로 하는 트랜지스터
15 15
제 12항에 있어서, 상기 유기-금속 화합물층은 두께가 1~10Å인 것을 특징으로 하는 트랜지스터
16 16
제 12항에 있어서, 상기 드레인 전극, 상기 소스 전극, 상기 게이트 전극, 상기 유기 활성층 및 상기 버퍼층은 세로 방향으로 적층된 것을 특징으로 하는 트랜지스터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 교육과학기술부 (재)한국연구재단 중견연구자 지원사업 고전하 이동과 고내구성 특성의 신규 n형 헤테로 고리형 유도체 합성
2 지식경제부 한국에너지기술평가원 (고급) 에너지 정책/융복합 트랙 고효율 에너지 나노소재공정 고급트랙