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헤테로다인 간섭계를 이용하여 시료를 단층 촬영하는 광학 단층 촬영 장치에 있어서,빛살을 제공하는 광대역 광원;시료를 배치할 수 있는 샘플 스테이지;상기 광원으로부터 제공되는 빛살을 편광 상태에 따라 투과시키거나 반사시키는 편광빔스플리터(PBS);상기 PBS로부터 제공되는 빛살들 중 구동 RF 주파수(Driving RF frequency, fRF)에 대응되는 특정 파장들의 빛살들이 선택되며, 선택된 파장의 일부빛살은 주파수 변조되어 제1 빛살로 출력되고, 선택된 파장의 나머지 빛살은 주파수 변조되지 않은 상태로 회절되어 제2 빛살로 출력되는 음향 광 변조필터(AOTF);사전 설정된 스윕 속도에 따라 스윕되는 복수 개의 구동 RF 주파수(fRF)를 생성하여 연속적으로 상기 AOTF로 제공하여 상기 AOTF를 구동시키는 AOTF 구동부;상기 AOTF로부터 제공되는 제1 빛살의 진행 경로에 배치되어, 제1 빛살을 시료를 향해 주사시키고, 제1 빛살이 시료로부터 되반사된 신호빛(Signal beam)을 다시 AOTF로 제공하며, 시료의 표면을 스캐닝하도록 XY 방향으로 구동하는 스캐닝 미러(Scanning mirror);상기 AOTF로부터 제공되는 제2 빛살의 진행 경로에 배치되고, 상기 제2 빛살의 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 참조빛(Reference beam)을 제공하는 제2 빛살 경로 유도부;상기 AOTF와 상기 샘플스테이지 및 제2 빛살 경로 유도부 사이에 배치되고, 입사된 빛살을 원형 편광으로 변환시켜 출력하는 사분파장 위상지연판(QWP);상기 AOTF로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 진행하는 신호빛과 참조빛의 간섭 신호들을 검출하고, 상기 AOTF 구동부로부터 스윕 속도에 대한 정보를 제공받고, 상기 스윕 속도에 대한 정보를 이용하여 상기 검출된 간섭신호들을 복조하여 출력하는 복조부; 및상기 스캐닝 미러의 구동을 제어하고, 상기 복조부에 의해 출력된 신호들을 이용하여 시료에 대한 단층 촬영 정보를 검출하는 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 광학 단층 촬영장치
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제 1항에 있어서, 상기 제2 빛살 경로 유도부는평행하게 입사되는 빛살을 입사 경로를 따라 다시 반사시키는 제1 거울; 및 상기 AOTF로부터 제공되는 제2 빛살의 진행경로에 배치되어, 상기 제2 빛살을 서로 평행하게 반사시켜 제1 거울로 제공하고, 상기 제1 거울로부터 되반사되는 제2 빛살을 각각 입사경로를 따라 다시 반사시켜 참조빛(Reference beam)을 제공하는 포물면 거울;를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 광학 단층 촬영장치
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제 1항에 있어서, 상기 제2 빛살 경로 유도부는입사되는 빛살을 각각 입사 경로를 따라 다시 반사시키는 구면 거울; 및AOTF로부터 제공되는 제2 빛살의 진행 경로에 배치되어, 상기 제2 빛살을 상기 구면 거울로 제공하고, 상기 구면 거울로부터 되반사되는 제2 빛살을 각각 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 참조빛(Refernce beam)을 제공하는 제2 거울;를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 광학 단층 촬영장치
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제 1항에 있어서, 상기 제2 빛살 경로 유도부는상기 AOTF로부터 제공되는 제2 빛살의 진행경로에 배치되어, 상기 제2 빛살을 각각 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 참조빛(Reference beam)을 제공하는 구면 거울;를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 광학 단층 촬영장치
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제 1항에 있어서, 상기 제어부는 복조부로부터 출력된 신호들을 이용하여 샘플에 대한 단층 정보를 검출하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 광학 단층 촬영장치
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제 1항에 있어서, 상기 복조부는상기 AOTF로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 진행하는 신호빛과 참조빛의 간섭 신호를 검출하는 광검출소자; 및상기 AOTF 구동부로부터 스윕 속도에 대한 정보를 제공받고, 상기 스윕 속도에 대한 정보를 이용하여 상기 광검출소자로부터 제공된 간섭신호를 파장에 따라 시간별로 동기화시켜 복조하여 출력하는 복조기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 광학 단층 촬영장치
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제 1항에 있어서, 상기 스캐닝 미러는상기 스캐닝 미러를 XY 방향으로 구동하는 스캐닝 미러 구동부를 더 구비하고,상기 제어부는 스캐닝 미러 제어신호를 생성하여 상기 스캐닝 미러 구동부로 전송하고, 상기 스캐닝 미러 구동부는 스캐닝 미러 제어신호에 따라 스캐닝 미러를 구동시키는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 광학 단층 촬영장치
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제 1항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는주파수 체배기를 더 구비하고, 상기 주파수 체배기는 AOTF 구동부로부터 제공되는 구동 RF 주파수를 2배의 주파수로 변환하여 복조기로 출력하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 광학 단층 촬영장치
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