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무기물이 포함된 유·무기 복합 포토레지스트 용액을 제조하는 단계;상기 용액을 기재 상에 도포하여 상기 무기물이 포함된 유·무기 복합 포토레지스트 층을 형성하는 단계;상기 유·무기 복합 포토레지스트 층에 3차원 광간섭 리소그래피를 이용하여 3차원 광간섭 패턴을 조사함으로써 3차원 다공성 유·무기 복합 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 3차원 광간섭 패턴이 조사된 상기 유·무기 복합 포토레지스트 층을 현상(developing)하는 것을 포함하는, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법으로서,상기 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체는, 상기 유·무기 복합 포토레지스트의 내부에 분산된 상기 무기물을 함유하며, 3차원적으로 배열되어 있으며 서로 연결된 기공을 가지며, 상기 3차원 광간섭 패턴은, 상기 유·무기 복합 포토레지스트 층에 광로차를 갖는 복수의 간섭성 평행광을 조사하여 형성되는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 유·무기 복합 포토레지스트 용액을 제조하는 단계는, 유기 포토레지스트를 함유하는 용액에 무기물이 분산된 용액을 첨가하여 혼합되는 것을 포함하는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 무기물은, 실리카, 티타니아, 지르코니아, 알루미나, 산화 주석(SnO2), 및 이들의 조합들로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 유기 포토레지스트는 SU-8, PGMA [poly(glycidylmethacrylate)], 솔-젤 복합체 (Sol-gel composities), POSS (polyhedral oligomeric silsesquiozanes), PHEMA [poly(2-hydroxyethyl methacrylate)], 및 이들의 조합들로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 무기물 농도는, 상기 유기 포토레지스트의 농도에 의하여 조절될 수 있는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 3차원 다공성 유·무기 복합 포토레지스트 패턴의 기공 크기는, 상기 조사되는 간섭성 평행광의 조사 세기, 조사 방향, 조사 각도, 또는 조사 시간에 의해 조절되는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 3차원 다공성 유·무기 복합 포토레지스트 패턴은, 상기 유·무기 복합 포토레지스트 층에 3차원의 기공이 규칙적으로 배열된 3차원 브라베 격자(Bravais lattice) 구조를 포함하는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 3차원 다공성 유·무기 복합 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계는, 상기 유·무기 복합 포토레지스트 층에 서로 상이한 주기를 갖는 2 개 이상의 3차원 광간섭 패턴을 중첩 조사하여 상기 유·무기 복합 포토레지스트 층에 멀티스케일 격자 패턴을 형성하는 것을 포함하는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 3차원 다공성 유·무기 복합 포토레지스트 패턴의 두께는 10 nm 내지 10 ㎛인 것을 포함하는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 3차원 다공성 유·무기 복합 포토레지스트 패턴이 가지는 기공의 크기는 10 nm 내지 10 ㎛ 크기를 갖는 것을 포함하는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 3차원 다공성 유·무기 복합 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계는, 투명한 포토레지스트 필름을 형성하여 레이저 입사 시 산란을 줄이는 것을 포함하는 것인, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 4 항, 제 6 항, 및 제 9 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조되는, 3차원 다공성 유·무기 복합 구조체로서,유·무기 복합 포토레지스트의 내부에 분산된 무기물을 포함하며, 3차원적으로 균일하게 배열되어 있으며 서로 연결된 기공을 가지는 것인,3차원 다공성 유·무기 복합 구조체
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