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이미지화하고자 하는 시료의 영역에 레이저를 조사하고, 상기 시료에 의해 산란된 빛을 수신하는 빛 조사부;상기 빛 조사부가 수신한 빛 중 라만 피크의 파장에 해당하는 빛만 통과시키는 필터; 및상기 필터를 통과한 빛을 이용하여 이미지를 생성하는 이미지화부를 포함하는 라만 분광 이미징 장치
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제 1 항에 있어서,상기 빛 조사부는,상기 레이저를 볼록렌즈 및 대물렌즈에 순서대로 입사시켜 상기 레이저가 상기 이미지화하고자 하는 시료의 영역 전체에 조사되도록 하는 것을 특징으로 하는 라만 분광 이미징 장치
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제 1 항에 있어서,광학적으로 평평하게 조사되도록 상기 시료에 조사되는 레이저를 변환하는 빔 쉐이퍼를 더 포함하는 라만 분광 이미징 장치
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제 1 항에 있어서,상기 필터는,액정을 이용하여 소정의 파장영역만을 통과시키는 가변대역통과필터인 것을 특징으로 하는 라만 분광 이미징 장치
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제 1 항에 있어서,상기 필터는,복수의 파장영역에 해당하는 빛을 통과시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 라만 분광 이미징 장치
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제 1 항에 있어서,상기 이미지화부는,상기 필터를 통과한 빛을 이용하여 대면적인 이미지를 생성하는 것을 특징으로 하는 라만 분광 이미징 장치
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제 1 항에 있어서,상기 이미지화부는 전자증배카메라인 것을 특징으로 하는 라만 분광 이미징 장치
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결함여부를 판단하고자 하는 시료의 영역에 레이저를 조사하고, 상기 시료에 의해 산란된 빛을 수신하는 빛 조사부;상기 빛 조사부가 수신한 빛 중 라만 피크의 파장에 해당하는 빛만 통과시키는 필터;상기 필터를 통과한 빛을 이용하여 이미지를 생성하는 이미지화부;상기 시료에 의해 산란된 빛을 분광하는 분광기; 및상기 분광기를 통과한 빛의 스펙트럼을 분석하여 상기 시료의 결함 여부를 판단하는 결함 여부 판단부를 포함하는 라만 분광 검사장치
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이미지화하고자 하는 시료의 영역에 레이저를 조사하는 단계;상기 시료로부터 산란된 빛을 수신하는 단계;상기 수신된 시료로부터 산란된 빛 중 라만 피크의 파장에 해당하는 빛만 통과시키는 단계; 및상기 통과한 빛을 이용하여 상기 이미지화하고자 하는 시료의 영역의 대면적 이미지를 생성하는 단계를 포함하는 라만 분광 이미징 방법
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제 9 항에 있어서,광학적으로 평평하게 조사되도록 상기 시료에 조사되는 레이저를 변환하는 단계를 더 포함하는 라만 분광 이미징 방법
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제 9 항에 있어서,상기 라만 피크의 파장에 해당하는 빛만 통과시키는 단계는,액정을 이용하여 소정의 파장영역만을 통과시키는 가변대역통과필터를 이용하는 것을 특징으로 하는 라만 분광 이미징 방법
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제 9 항에 있어서,상기 라만 피크의 파장에 해당하는 빛만 통과시키는 단계는,복수의 파장영역에 해당하는 빛을 통과시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 라만 분광 이미징 방법
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이미지화하고자 하는 시료의 영역에 레이저를 조사하는 단계;상기 이미지화하고자 하는 시료의 영역에 조사된 레이저가 상기 시료에 의해 산란된 제 1 빛을 수신하는 단계;상기 제 1 빛 중 라만 피크의 파장에 해당하는 빛만 통과시키는 단계;상기 통과한 빛을 이용하여 상기 이미지화하고자 하는 시료의 영역의 대면적 이미지를 생성하는 단계;레이저를 한 위치에 집중시켜 상기 시료에 조사하는 단계;상기 한 위치에 집중시켜 조사된 레이저가 상기 시료에 의해 산란된 제 2 빛을 수신하는 단계;상기 제 2 빛을 분광하는 단계; 및상기 분광된 빛의 스펙트럼을 분석하여 시료의 결함 여부를 판단하는 단계를 포함하는 라만 분광 검사 방법
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