기술이전플랫폼 Tech-Bridge-이전대상기술

맞춤기술찾기

홈으로 가기

맞춤기술찾기

이전대상기술

프린트하기

이전대상기술

세정장치

기술번호 : KST2015187996
담당센터 : 서울서부기술혁신센터
전화번호 : 02-6124-6930

상담신청 PDF 받기

상세정보
공개전문
공고전문
등록사항
통합행정정보
기술정보
과제정보
관련기술
심판사항

서지정보
인명정보
행정처리
청구항
지정국
패밀리정보
국가R&D 연구정보

이전 슬라이드 보기 다음 슬라이드 보기

요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 공정이 간소화되고 소요시간이 단축되면서도 효과가 우수한 세정장치를 위하여, (i) 액체 이산화탄소 공급원 및 기체 이산화탄소 공급원과, (ii) 상기 액체 이산화탄소 공급원으로부터 공급되는 이산화탄소를 고압의 이산화탄소로 만드는 고압펌프와, (iii) 세정용 첨가제 공급원 및 헹굼용 첨가제 공급원과, (iv) 상기 세정용 첨가제 공급원으로부터 공급되는 세정용 첨가제와 상기 액체 이산화탄소 공급원으로부터 공급되는 초임계 상태의 이산화탄소(supercritical dioxide)를 혼합하여 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물을 형성하거나, 상기 헹굼용 첨가제 공급원으로부터 공급되는 헹굼용 첨가제와 상기 액체 이산화탄소 공급원으로부터 공급되는 초임계 상태의 이산화탄소를 혼합하여 초임계 상태의 헹굼용 혼합물을 형성하는 균질 투명상 혼합기와, (iv) 상기 균질 투명상 혼합기로부터 공급되는 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물을 이용하여 세정하고, 상기 균질 투명상 혼합기로부터 공급되는 초임계 상태의 헹굼용 혼합물을 이용하여 헹굼을 수행하는 고압세정기와, (v) 상기 고압세정기로부터 배출되는 혼합물로부터 기체상의 이산화탄소를 분리하는 분리기와, (vi) 상기 분리된 이산화탄소를 응축하는 이산화탄소 응축용기를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치를 제공한다.
Int. CL	H01L 21/304 (2006.01)
CPC
출원번호/일자	1020060006590 (2006.01.21)
출원인	서강대학교산학협력단
등록번호/일자	10-0753493-0000 (2007.08.23)
공개번호/일자	10-2007-0076992 (2007.07.25) 문서열기
공고번호/일자	(20070831) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호	1020070012374;
심사청구여부/일자	Y (2006.01.21)
심사청구항수	8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	서강대학교산학협력단	대한민국	서울특별시 마포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한갑수	대한민국	경기 용인시 풍덕
2	유기풍	대한민국	서울 마포구
3	임종성	대한민국	서울 중구
4	권영훈	대한민국	서울 송파구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	리앤목특허법인	대한민국	서울 강남구 언주로 길 , 층, 층, 층, *층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	주식회사 에스지엠		서울특별시 마포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2006.01.21	수리 (Accepted)	1-1-2006-0047381-14
2	전자문서첨부서류제출서 Submission of Attachment to Electronic Document	2006.01.24	수리 (Accepted)	1-1-2006-5006977-59
3	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서 Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008039-05
4	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서 Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008037-14
5	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서 Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008041-97
6	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서 Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008038-59
7	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서 Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008045-79
8	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2006.02.23	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0133458-82
9	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2006.09.07	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
10	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2006.10.16	수리 (Accepted)	9-1-2006-0065694-75
11	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2006.12.06	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0727266-80
12	의견서 Written Opinion	2007.02.06	수리 (Accepted)	1-1-2007-0112036-26
13	특허분할출원서 Divisional Application of Patent	2007.02.06	수리 (Accepted)	1-1-2007-0112243-71
14	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2007.02.06	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2007-0112038-17
15	등록결정서 Decision to grant	2007.05.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0306360-01
16	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.01.11	수리 (Accepted)	4-1-2017-5005781-67
17	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.01.22	수리 (Accepted)	4-1-2019-5014626-89

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 액체 이산화탄소 공급원 및 기체 이산화탄소 공급원;상기 액체 이산화탄소 공급원으로부터 공급되는 이산화탄소를 고압의 이산화탄소로 만드는 고압펌프;세정용 첨가제 공급원 및 헹굼용 첨가제 공급원;상기 세정용 첨가제 공급원으로부터 공급되는 세정용 첨가제와 상기 액체 이산화탄소 공급원으로부터 공급되는 초임계 상태의 이산화탄소를 혼합하여 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물을 형성하거나, 상기 헹굼용 첨가제 공급원으로부터 공급되는 헹굼용 첨가제와 상기 액체 이산화탄소 공급원으로부터 공급되는 초임계 상태의 이산화탄소를 혼합하여 초임계 상태의 헹굼용 혼합물을 형성하는 균질 투명상 혼합기;상기 균질 투명상 혼합기로부터 공급되는 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물을 이용하여 세정하고, 상기 균질 투명상 혼합기로부터 공급되는 초임계 상태의 헹굼용 혼합물을 이용하여 헹굼을 수행하는 고압세정기;상기 고압세정기로부터 배출되는 혼합물로부터 기체상의 이산화탄소를 분리하는 분리기; 및상기 분리된 이산화탄소를 응축하는 이산화탄소 응축용기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치
2	2 제 1항에 있어서,상기 분리기에서 분리된 이산화탄소를 정제하는 세정컬럼 및 흡착컬럼 중 적어도 어느 하나를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치
3	3 제 1항에 있어서,상기 이산화탄소 응축용기에서 응축된 이산화탄소는 상기 액체 이산화탄소 공급원에 제공되어 재사용되는 것을 특징으로 하는 세정장치
4	4 제 1항에 있어서,상기 액체 이산화탄소 공급원으로부터 공급되는 이산화탄소와, 상기 세정용 첨가제 공급원으로부터 공급되는 세정용 첨가제와, 상기 헹굼용 첨가제 공급원으로부터 공급되는 헹굼용 첨가제를 가열하는 가열기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치
5	5 제 1항에 있어서,상기 균질 투명상 혼합기는, 대기압 또는 10bar 이하의 저압으로 공급되는 세정용 첨가제와, 초임계 고압인 120bar 내지 300bar의 이산화탄소를 압력차에 의한 혼합효과를 이용하여 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물을 형성하는 것을 특징으로 하는 세정장치
6	6 제 1항에 있어서,상기 고압세정기에 연결되어 상기 고압세정기 내의 압력을 조절하는 압력조절밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치
7	7 제 1항에 있어서,상기 고압용세정기와 상기 균질 투명상 혼합기 사이와, 상기 고압용세정기의 배출구를 연결하는 순환관; 및상기 순환관에 연결된 순환 펌프;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치
8	8 제 1항에 있어서,상기 균질 투명상 혼합기에는 내부 또는 외부 순환 장치가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 세정장치
9	9 삭제
10	10 삭제
11	11 삭제
12	12 삭제
13	13 삭제
14	14 삭제
15	15 삭제
16	16 삭제

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US08505559	US	미국	FAMILY
2	US20070169794	US	미국	FAMILY
3	US20110120507	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US2007169794	US	미국	DOCDBFAMILY
2	US2011120507	US	미국	DOCDBFAMILY
3	US8505559	US	미국	DOCDBFAMILY

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-0753493-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20060121 출원 번호 : 1020060006590 공고 연월일 : 20070831 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20070531 청구범위의 항수 : 8 유별 : H01L 21/304 발명의 명칭 : 세정장치 존속기간(예정)만료일 : 20140824

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 서강대학교산학협력단 서울 마포구...
2	(권리자) 서강대학교기술지주 주식회사 서울특별시 마포구...
2	(의무자) 서강대학교산학협력단 서울 마포구...
3	(의무자) 서강대학교기술지주 주식회사 서울특별시 마포구...
3	(권리자) 주식회사 에스지엠 서울특별시 마포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	256,500 원	2007년 08월 24일	납입
제 4 년분	금 액	216,000 원	2010년 08월 17일	납입
제 5 년분	금 액	216,000 원	2011년 08월 11일	납입
제 6 년분	금 액	216,000 원	2012년 08월 22일	납입
제 7 년분	금 액	404,000 원	2013년 08월 13일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2006.01.21	수리 (Accepted)	1-1-2006-0047381-14
2	전자문서첨부서류제출서	2006.01.24	수리 (Accepted)	1-1-2006-5006977-59
3	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008039-05
4	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008037-14
5	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008041-97
6	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008038-59
7	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서	2006.01.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-5008045-79
8	명세서등보정서	2006.02.23	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0133458-82
9	선행기술조사의뢰서	2006.09.07	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
10	선행기술조사보고서	2006.10.16	수리 (Accepted)	9-1-2006-0065694-75
11	의견제출통지서	2006.12.06	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0727266-80
12	의견서	2007.02.06	수리 (Accepted)	1-1-2007-0112036-26
13	특허분할출원서	2007.02.06	수리 (Accepted)	1-1-2007-0112243-71
14	명세서등보정서	2007.02.06	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2007-0112038-17
15	등록결정서	2007.05.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0306360-01
16	출원인정보변경(경정)신고서	2017.01.11	수리 (Accepted)	4-1-2017-5005781-67
17	출원인정보변경(경정)신고서	2019.01.22	수리 (Accepted)	4-1-2019-5014626-89


과제고유번호	1410041733
세부과제번호	kemco2004-E-ID12-P-03
연구과제명	MEMS/나노패턴의차세대반도체제조용건식프로세싱및장비개발(2세부)
성과구분	출원
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	한국산업기술평가원
연구주관기관명	서강대학교
성과제출연도	2004
연구기간	200409~200709
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	ET(환경기술)

특허성과

[1020060046275]	초임계 추출용 계면활성제, 그 제조방법 및 상기계면활성제를 이용한 초임계추출방법	새창보기
[1020060044455]	할로겐 치환된 스티렌 옥사이드의 제조방법	새창보기
[1020060006591]	세정장치	새창보기
[1020060006590]	세정장치	새창보기

중요키워드

이전대상기술 뷰 페이지 관련기술 표
[KST2014034377][서강대학교]	기공이 형성된 ＣＭＰ 연마패드와 그의 제조방법(Chemical mechanical polishing pad with pore and fabrication methode of the same)	새창보기
[KST2014008190][서강대학교]	세정장치	새창보기
[KST2014022988][서강대학교]	기공이 형성된 ＣＭＰ 연마패드와 그의 제조방법	새창보기
[KST2014034366][서강대학교]	세정장치에 사용되는 고압세정기(High pressure cleaner for cleaning apparatus)	새창보기
[KST2014034414][서강대학교]	ＣＭＰ 연마패드와 그의 제조방법(Chemical mechanical polishing pad and fabrication methode of the same)	새창보기
[KST2014022986][서강대학교]	ＣＭＰ 연마패드와 그의 제조방법	새창보기

의뢰할 수요기술을 선택합니다

담당자명, 주소, 이메일, 연락처, 내용, 파일선택의 정보를 제공하는 도입희망기술 뷰 페이지 의뢰하기 입력표입니다.
담당자명		활동구분※필수입력항목
이메일		연락처	- -
내용
파일선택	파일선택