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광원;상기 광원으로부터 제공되는 빛살을 주파수가 다르고 편광 방향이 서로 수직한 제1 주파수(ω1)의 제1 빛살 및 제2 주파수(ω2)의 제2 빛살로 분리하는 제1 편광빔스플리터(제1 PBS);상기 제1 PBS로부터 제공되는 제1 빛살이 진행되는 제1 경로에 배치되어, 상기 제1 빛살의 편광 방향을 사전에 설정된 각도로 회전시켜 출력하는 제1 편광회전부;서로 대향되는 제1면 및 제2면을 구비하고, 상기 제1 편광회전부로부터 출력되어 제1면으로 입사된 제1 빛살을 편광 상태에 따라 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살 및 제1-2 빛살로 분리시키고, 상기 제1-1 빛살은 제1 경로를 따라 제2면으로 출사시키고 제1-2 빛살은 회절되어 제2 경로를 따라 제2면으로 출사시키는 빔 디스플레이서(beam displacer);상기 빔 디스플레이서의 제2면로부터 출사된 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살의 진행 경로상에 배치되고, 입사면으로 입사되는 빛살을 2번 직각 반사시켜 입사 경로와 평행한 제3 경로로 출력시켜 빔 디스플레이서의 제2면으로 다시 제공하는 제1 직각 프리즘;상기 빔 디스플레이서의 제2면으로부터 출사된 제1 주파수(ω1)의 제1-2 빛살의 진행 경로상에 배치되고, 입사면으로 입사되는 빛살을 2번 직각 반사시켜 입사 경로와 평행한 제4 경로로 출력시켜 빔 디스플레이서의 제2면으로 다시 제공하는 제2 직각 프리즘;상기 빔 디스플레이서의 제1면의 동일한 출사지점으로부터 출력된 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살 및 제1-2 빛살을 서로 수직하게 분리시켜 제공하고, 상기 제2 빛살을 편광방향이 서로 수직한 제2 주파수(ω2)의 제2-1 빛살 및 제2-2 빛살로 분리시켜 제공하는 빛살 분리부;상기 빛살 분리부로부터 제공된 상기 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살과 제2 주파수(ω2)의 제2-1 빛살의 제1 간섭신호 및 제1 주파수(ω1)의 제1-2 빛살과 제2 주파수(ω2)의 제2-2 빛살의 제2 간섭신호를 검출하여 외부로 제공하는 광검출부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 빛살 분리부는,상기 빔 디스플레이서의 제1면의 동일한 출사지점으로부터 출력된 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살 및 제1-2 빛살의 진행 경로상에 배치되어 제1-1 빛살 및 제1-2 빛살을 반사시키는 제1 거울;상기 제1 PBS로부터 제공되는 제2 빛살의 진행방향을 상기 제1 빛살의 진행 방향과 평행하도록 반사하는 제2 거울;상기 제2 거울로부터 반사된 제2 빛살이 진행되는 경로에 배치되어, 상기 제2 빛살의 편광 방향을 사전에 설정된 각도로 회전시켜 출력하는 제2 편광회전부;상기 제1 거울로부터 제공되는 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살 및 제1 주파수(ω1)의 제1-2 빛살을 서로 수직하게 분리시키고, 상기 제2 편광회전부로부터 제공되는 제2 빛살을 편광 방향이 서로 수직한 제2 주파수(ω2)의 제2-1 빛살 및 제2-2 빛살로 분리시키는 제2 PBS;을 구비하는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 빛살 분리부는 상기 제1 PBS로부터 제공되는 제2 빛살의 경로를 변경하여 제1 PBS로 다시 제공하는 제3 직각 프리즘; 및 상기 제1 PBS와 상기 제3 직각 프리즘 사이에 배치되어 입사되는 빛살의 위상을 지연시켜 출력하는 위상 지연판;을 구비하고, 상기 제1 PBS와 연동되는 것을 특징으로 하며,상기 빔 디스플레이서의 제1면의 동일한 출사지점으로부터 출력된 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살 및 제1-2 빛살은 제1 PBS로 제공되어 제1 PBS에 의해 서로 분리되어 출력되며, 상기 제1 PBS로 다시 입사된 제2 빛살도 편광 방향이 서로 수직한 제2 주파수(ω2)의 제2-1 빛살 및 제2-2 빛살로 분리되어 출력되는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 광 검출부는상기 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살과 제2 주파수(ω2)의 제2-1 빛살의 간섭신호를 검출하여 외부로 제공하는 제1 광검출수단(PD1); 및상기 제1 주파수(ω1)의 제1-2 빛살과 제2 주파수(ω2)의 제2-2 빛살의 간섭신호를 검출하여 외부로 제공하는 제2 광검출수단(PD2);을 구비하는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 제1 편광회전부는 반파장위상지연판(HWP)으로 구성되거나, 제1 편광회전기(PR) 및 제1 편광판(POL)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계
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제 2항에 있어서, 상기 제2 편광회전부는 반파장위상지연판(HWP)으로 구성되거나, 반파장 위상지연판(HWP), 제2 편광회전기(PR) 및 제2 편광판(POL)로 구성되는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살 및 제2 주파수(ω2)의 제2-1 빛살이 신호분리부로부터 광검출부로 진행되는 경로 사이에 제3 편광판을 더 구비하여 제1 주파수(ω1)의 제1-1 빛살 및 제2 주파수(ω2)의 제2-1 빛살의 간섭신호를 생성하고, 제1 주파수(ω1)의 제1-2 빛살 및 제2 주파수(ω2)의 제2-2 빛살이 신호분리부로부터 광검출부로 진행되는 경로 사이에 제4 편광판을 더 구비하여 제1 주파수(ω1)의 제1-2 빛살 및 제2 주파수(ω2)의 제2-2 빛살의 간섭신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계
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제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 헤테로다인 간섭계를 이용하는 채널 리드아웃 센서에 있어서, 빔 디스플레이서의 제2면과 제1 및 제2 직각 프리즘의 사이에 시료를 통과시킬 수 있는 유체 채널이 형성된 시료 투입장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계를 이용한 채널 리드아웃 센서
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제 8항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계의 제1 및 제2 직각 프리즘은 일체형으로 형성된 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계를 이용한 채널 리드아웃 센서
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제 8항에 있어서, 상기 시료 투입장치는 기준빛을 생성할 수 있는 기준 물질을 투입하는 기준물질용 유체 채널을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 장시간 안정도를 갖는 헤테로다인 간섭계를 이용한 채널 리드아웃 센서
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