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빛살을 제공하는 광원;상기 광원으로부터 제공되는 빛살을 편광 상태에 따라 투과시키거나 반사시키는 편광빔스플리터(PBS);상기 PBS로부터 제공되는 빛살을 제1 빛살과 제2 빛살로 나누고, 제1 빛살과 제2 빛살을 일정 각도로 분리하여 출력하는 음향 광학 장치(AO Device);중심변조주파수(fRF0)를 기준으로 하여 주파수 가변 범위(Δf)내에서 디더링(dithering)되는 변조 주파수(fRF)에 따라 상기 음향광학장치를 구동시키는 음향광학장치 구동부; 측정하고자 하는 샘플이 놓여지는 샘플 스테이지;상기 음향광학장치로부터 제공되는 제1 빛살 및 제2 빛살의 진행 경로에 배치되고, 상기 제1 빛살 및 제2 빛살을 투과시켜 샘플 스테이지로 평행하게 제공하고, 상기 샘플 스테이지로부터 되반사되는 제1 빛살을 입사 경로를 따라 다시 진행하도록 하여 신호빛(Signal beam) 및 기준빛(Reference beam)을 제공하는 렌즈;상기 음향광학장치와 렌즈 사이에 배치되고, 입사된 빛살들을 원형 편광으로 변환시켜 출력하는 사분파장 위상지연판(QWP);상기 음향광학장치로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 진행하는 신호빛과 기준빛의 간섭 신호를 검출하여 출력하는 광검출소자;상기 음향광학장치 구동부로부터 변조주파수에 대한 정보를 제공받고, 상기 변조주파수를 이용하여 상기 광검출소자로부터 제공되는 간섭 신호를 복조하여 출력하는 RF 복조기;상기 RF 복조기로부터 제공되는 신호로부터 디더링 주파수(fdithering)와 같은 주파수의 신호를 검출하여 출력하는 록인앰프; 사전 설정된 진폭(A)과 디더링 주파수(fdithering)를 갖는 디더링 신호를 생성하고, 상기 디더링 신호를 상기 음향광학장치 구동부로 제공하고 상기 디더링 주파수(fdithering)를 상기 록인앰프로 제공하는 함수 생성기;상기 록인앰프로부터 출력된 신호를 이용하여 샘플에 대한 정보를 검출하는 제어부;를 구비하고, 상기 음향광학장치 구동부는 함수 생성기로부터 디더링 신호를 제공받고, 스윕되는 상기 변조 주파수(fRF)는 디더링 신호의 진폭(A)에 따라 주파수 가변 범위가 결정되고 디더링 신호의 디더링 주파수(fdithering)에 따라 디더링 속도가 결정되는 것을 특징으로 하는 음향광학장치를 이용한 주사 간섭 현미경
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제 1항에 있어서, 상기 음향광학장치는음향-광 변조기(Acousto Optic Modulator; AOM), 음향-광 편향기(Acousto Optic Deflector; AOD), AOFS(Acousto Optic Frequency Shifter; AOFS) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 음향광학장치를 이용한 주사 간섭 현미경
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제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광검출소자는 상기 음향광학장치로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 제1 경로를 따라 진행하는 빛살들에 대한 제1 간섭 신호를 검출하여 출력하는 제1 광검출소자로 구비되는 것을 특징으로 하는 음향광학장치를 이용한 주사 간섭 현미경
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제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광검출소자는상기 음향광학장치로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 제1 경로를 따라 진행하는 빛살들에 대한 제1 간섭신호를 검출하여 출력하는 제1 광검출소자; 및상기 음향광학장치로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 제2 경로를 따라 진행하는 빛살들에 대한 제2 간섭신호를 검출하여 출력하는 제2 광검출소자;로 구비되며,상기 주사 간섭 현미경은 제1 광검출소자 및 제2 광검출소자로부터 제1 간섭신호 및 제2 간섭신호의 차이값을 상기 RF 복조기로 출력하는 차동증폭기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 음향광학장치를 이용한 주사 간섭 현미경
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제 1항에 있어서, 상기 광원은레이저; 및상기 레이저로부터 출력된 광을 P파로 정렬하여 출력하는 광 분리기(Optical Isolator);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 음향광학장치를 이용한 주사 간섭 현미경
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제 1항에 있어서,상기 음향광학장치로부터 출력되는 제1 빛살은 변조 주파수(fRF)에 의해 변조된 1차(First-order) 빛살이며, 제2 빛살은 변조되지 않은 영차(Zero-order) 빛살인 것을 특징으로 하는 음향광학장치를 이용한 주사 간섭 현미경
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제 1항에 있어서, 상기 주사 간섭 현미경은 주파수 체배기를 더 구비하고, 상기 주파수 체배기는 음향광학장치 구동부로부터 제공되는 변조 주파수를 2배의 주파수로 변환하여 RF 복조기로 출력하는 것을 특징으로 하는 음향광학장치를 이용한 주사 간섭 현미경
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제 1항에 있어서,상기 제어부가 검출하는 샘플의 정보는 샘플의 국부기울기(local slope)에 대한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광학장치를 이용한 주사 간섭 현미경
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